[發明專利]一種多級高真空干泵

有效

• 申請號: 201710564556.7
• 申請日: 2017-07-12
• 公開（公告）號: CN107143506B
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 劉坤;段啟惠;陳樹雷;陸艷君;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學
• 主分類號: F04D17/12
• 分類號: F04D17/12;F04D29/28;F04D25/06
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 齊勝杰

1.一種多級高真空干泵，其特征在于，其包括轉子組裝體、各級定子、電機、底座和外殼，其中，所述轉子組裝體包括套裝固定在所述電機的主軸上端的渦輪級轉子和復合轉子體；所述復合轉子體包括由內向外依次固定連接的盤型牽引級轉子、筒式牽引級轉子、旋渦級轉子；所述各級定子由內向外包括渦輪級定子、復合定子一、復合定子二和旋渦級定子，并分別與所述轉子組裝體的渦輪級轉子、盤型牽引級轉子、筒式牽引級轉子、旋渦級轉子對應設置；所述底座固定于所述各級定子與轉子組裝體下方，所述電機固定于所述底座上，所述外殼固定連接于所述旋渦級定子與所述底座的外側，所述外殼一側設有排氣口，所述渦輪級轉子的上方設有入口；

其中，所述盤型牽引級轉子包括固定連接的梯形臺和圓盤，所述圓盤的上表面開設有形狀為圓弧線或阿基米德螺旋線的牽引風流槽，所述盤型牽引級轉子通過中間設置的通孔套在所述主軸上；

所述筒式牽引級轉子為光面圓套筒，其內側下端固定連接所述圓盤，所述光面圓套筒的外側下端固定連接于所述旋渦級轉子的內側下端；

所述旋渦級轉子為圓筒形，其外側壁由上至下設有若干個沿軸向向下逐漸變小的凸環，凸環上伸出環狀漸薄肋壁，所述肋壁上開有多個第二葉片，所述第二葉片間相互平行，所述第二葉片為矩形或弓形；

所述的旋渦級定子為多層圓環，每個圓環上表面或下表面或上下表面沿周向的至少一部分開設有環狀槽，沿周向的剩余部分設置有凸臺氣流阻擋塊，所述凸臺氣流阻擋塊的第一側開設有沿圓環厚度方向貫通的氣體通道，每一個圓環的氣體通道均位于相應凸臺氣流阻擋塊的第一側，相鄰圓環中，下一級圓環的凸臺氣流阻擋塊位于上一級圓環的氣體通道的第一側，所述相鄰圓環的環狀槽對向配合形成的槽口與所述凸環相互適配，所述凸環插入所述環狀槽配合形成的槽口內，所述槽口與所述凸環之間有縫隙，所述環狀槽的槽內空腔設有第三葉片。

2.如權利要求1所述的多級高真空干泵，其特征在于，所述渦輪級轉子為閉式葉片層狀分體結構，每一層設有沿著圓周方向排列的多個第一葉片，所述第一葉片間相互平行，并與水平面成20°～40°夾角。

3.如權利要求1所述的多級高真空干泵，其特征在于，所述復合轉子體為一體合成或分體設置，所述分體設置時，所述光面圓套筒的內側壁底端設有與所述圓盤嵌合的槽，所述光面圓套筒的外側壁下端設有卡環，所述旋渦級轉子的圓筒形內側底部設有卡槽，所述卡環與所述卡槽相互適配連接。

4.如權利要求1所述的多級高真空干泵，其特征在于，渦輪級定子包括多個間隔環和對應的多個單級渦輪定子，每個所述間隔環固定于所述單級渦輪定子的外側，所述單級渦輪定子設有沿著圓周方向排列多個第三葉片，所述第三葉片間相互平行，并與水平面成20°～40°夾角，所述單級渦輪定子的數量比所述渦輪級轉子的級數少一。

5.如權利要求1所述的多級高真空干泵，其特征在于，所述復合定子一包括固定連接的盤型牽引級定子和第一級筒式牽引級定子，其中，所述盤型牽引級定子為光面的圓盤，該圓盤中心設有便于所述主軸和所述復合轉子體安裝的通孔；所述第一級筒式牽引級定子為圓套筒，所述圓套筒的表面設有螺旋槽，所述螺旋槽為阿基米德螺旋線或圓弧線，所述復合定子一與所述渦輪級定子連接。

6.如權利要求1所述的多級高真空干泵，其特征在于，所述的復合定子二為圓套筒結構，所述圓套筒的表面開設有螺旋槽，所述螺旋槽為阿基米德螺旋線或圓弧線，所述復合定子二與所述復合定子一固定連接。

7.如權利要求1所述的多級高真空干泵，其特征在于，所述高真空干泵還包括水冷座，所述水冷座設于所述轉子組裝體與底座之間，所述水冷座底面設有渦狀溝槽。

8.如權利要求1-7中任一項所述的多級高真空干泵，其特征在于，所述多級高真空干泵的入口處設有過濾網；所述底座的下端外側設有散熱片。