[發明專利]切削裝置

有效

• 申請號: 201710560879.9
• 申請日: 2017-07-11
• 公開（公告）號: CN107618118B
• 公開（公告）日: 2021-03-26
• 發明（設計）人: 內田文雄
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D5/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

提供切削裝置，在加工開始前對切削水提供噴嘴是否適當地定位進行確認。切削裝置(1)具有：切削單元(4)，其具有對切削刀具(41)提供切削水的冷卻噴嘴(46)和噴淋噴嘴(47)；負載電流值檢測單元(48)，其對旋轉驅動切削刀具的電動機(44)的負載電流值進行檢測；和控制單元(9)，其控制切削單元和負載電流值檢測單元。控制單元具有：存儲部(91)，其將基于在各噴嘴被定位在適當的位置的狀態下一邊提供規定量的切削水一邊使切削刀具按照規定的主軸轉速旋轉時的電動機的負載電流值的任意的值作為閾值而預先進行存儲；和判斷部(92)，其根據一邊提供規定量的切削水一邊使切削刀具按照規定的主軸轉速旋轉時所檢測出的負載電流值與存儲部所存儲的閾值的比較結果對正常或異常進行判斷。

技術領域

本發明涉及切削裝置，其一邊提供切削水一邊利用切削刀具對被加工物進行切削。

背景技術

通過切削裝置將半導體晶片或光器件晶片等被加工物沿著間隔道切斷。切削裝置具有：卡盤工作臺，其對被加工物進行保持；切削單元，其包含對保持在卡盤工作臺上的被加工物進行切削的切削刀具；以及噴嘴，其向加工中的切削刀具提供切削水，通過旋轉的切削刀具將被加工物切斷而進行分割。在切削裝置中，通過向高速旋轉的切削刀具提供切削水，能夠對加工熱進行冷卻，并將因切削產生的切削屑從被加工物洗掉。

但是，當噴嘴的位置被調整至錯誤的位置而沒有將切削水提供到切削刀具的適當的位置時，加工熱不會被充分地冷卻。因此，產生切削刀具的異常磨損或燒蝕而使加工品質惡化，進而切削刀具或被加工物破損。因此，提出了能夠相對于切削刀具調整噴嘴的位置的切削裝置(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本特開2006-187849號公報

但是，在這樣的切削裝置中，當對切削刀具進行更換時等，有時因操作者非本意地接觸到噴嘴而使噴嘴產生位置偏移。在該情況下，由于噴嘴的位置偏移較小，所以無法通過目視來確認，一直在冷卻不充分的狀態下持續進行切削加工，存在引起加工品質的惡化、切削刀具或被加工物的破損的問題。

發明內容

本發明是鑒于該點而完成的，其目的之一在于提供切削裝置，其能夠在加工開始前對切削水提供噴嘴是否被適當地定位進行確認。

本發明的一個方式的切削裝置具有：切削單元，其包含以能夠旋轉的方式被支承的主軸、對主軸進行旋轉驅動的電動機、安裝在主軸的前端部的切削刀具以及對切削刀具提供切削水的切削水提供噴嘴；負載電流值檢測單元，其對電動機的負載電流值進行檢測；以及控制單元，其對切削單元和負載電流值檢測單元進行控制，控制單元具有：存儲部，其將基于在切削水提供噴嘴被定位在適當的位置的狀態下一邊提供規定的量的切削水一邊使切削刀具按照規定的主軸轉速進行旋轉時的、由負載電流值檢測單元檢測出的負載電流值的任意的值作為閾值而預先進行存儲；以及判斷部，其根據一邊提供規定的量的切削水一邊使切削刀具按照規定的主軸轉速進行旋轉時的由負載電流值檢測單元檢測出的負載電流值與存儲部所存儲的閾值的比較結果，對正常或異常進行判斷。

根據該結構，在被加工物的加工前，將如上述那樣切削水提供噴嘴被定位在適當的位置的狀態下的任意的負載電流值作為閾值而預先進行存儲。并且，在加工時當所檢測出的負載電流值從閾值偏移規定的范圍的情況下，能夠通過判斷部來判斷為噴嘴位置不適當。由此，能夠在被加工物的加工前對切削水提供噴嘴的位置的異常進行把握，避免因切削水提供噴嘴的位置偏移所導致的冷卻不足等，能夠事先防止加工品質的惡化、切削刀具或被加工物的破損。

優選在存儲部中按照每個對被加工物進行加工的器件數據來存儲閾值。

根據本發明，在加工開始前，在向旋轉的切削刀具提供切削水的狀態下對電動機的負載電流值進行檢測，能夠根據該檢測結果對切削水提供噴嘴是否被適當地定位進行確認。

附圖說明

圖1是本實施方式的切削裝置的立體圖。

圖2是本實施方式的切削單元的主視圖。