[發明專利]一種連續式薄膜生產設備在審
| 申請號: | 201710560805.5 | 申請日: | 2017-07-11 |
| 公開(公告)號: | CN107236938A | 公開(公告)日: | 2017-10-10 |
| 發明(設計)人: | 李留臣;周正星 | 申請(專利權)人: | 江蘇星特亮科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/54 | 分類號: | C23C16/54;C23C16/26;C23C16/46;C01B32/186 |
| 代理公司: | 蘇州創元專利商標事務所有限公司32103 | 代理人: | 孫仿衛 |
| 地址: | 215627 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 連續 薄膜 生產 設備 | ||
1.一種連續式薄膜生產設備,包括基座,其特征在于:所述設備還包括設于所述基座上的中空腔體、沿薄膜的送料方向依次兩兩間隔的設于所述中空腔體中的送料機構、加熱機構、收料機構;
所述加熱機構包括可開合的保溫罩、設于所述保溫罩中的加熱組件、開設于所述保溫罩中的用于通入通出所述薄膜的輸送通道、設于所述保溫罩靠近所述送料機構一端的進氣分配器、設于所述保溫罩靠近所述出料機構一端的尾氣回收器,所述進氣分配器上設有用于通入通出所述薄膜的第一開口,所述尾氣回收器上設有用于通入通出所述薄膜的第二開口。
2.根據權利要求1所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述設備還包括設于所述尾氣回收器和所述出料機構之間的冷卻機構。
3.根據權利要求2所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述冷卻機構為用于將所述中空腔體隔成兩個腔體的水冷隔板,所述水冷隔板上設有用于通入通出所述薄膜的第三開口。
4.根據權利要求1所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述送料機構包括固設于所述中空腔體中的第一支撐板、至少一個繞自身軸心線方向轉動的設于所述第一支撐板上的第一放卷輪;所述收料機構包括固設于所述中空腔體中的第二支撐板、至少一個繞自身軸心線方向轉動的設于所述第二支撐板上的第一收卷輪;所述第一收卷輪與所述第一放卷輪一一對應的設于所述中空腔體中。
5.根據權利要求4所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述送料機構還包括繞自身軸心線方向轉動的設于所述第一支撐板上的用于配合對應的所述第一放卷輪放料的第一導向輪;所述收料機構還包括繞自身軸心線方向轉動的設于所述第二支撐板上的用于配合對應的所述第一收卷輪收料的第二導向輪。
6.根據權利要求4所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述收料機構還包括設于所述第二支撐板上的與所述第一收卷輪一一對應的第一溫度傳感器。
7.根據權利要求1所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述加熱組件包括沿所述薄膜的送料方向依次排列的設于所述保溫罩中的多個加熱器,所述加熱機構還包括設于所述保溫罩中的與多個所述加熱器一一對應的多個第二溫度傳感器。
8.根據權利要求1所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述保溫罩包括第一罩體、繞轉軸鉸接在所述第一罩體上的第二罩體。
9.根據權利要求1所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述中空腔體包括第一側板、開設于所述第一側板上的觀察口。
10.根據權利要求1所述的一種連續式薄膜生產設備,其特征在于:所述中空腔體包括第二側板、開設于所述第二側板上的抽氣口。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





