[發(fā)明專利]振動傳感器和用于制造振動傳感器的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710560356.4
• 申請日: 2017-07-11
• 公開（公告）號: CN107631794B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 福爾克·奧爾蓋耶;多米尼克·費倫巴赫
• 申請（專利權(quán)）人: VEGA格里沙貝兩合公司
• 主分類號: G01H17/00
• 分類號: G01H17/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 曹正建;陳桂香

1.一種振動傳感器(1)，其具有能夠通過驅(qū)動裝置激勵出振動的薄膜(5)和布置在所述薄膜(5)上的機械振動器(7)，其特征在于，所述機械振動器(7)具有外罩(9)，所述外罩具有至少一個封閉的內(nèi)部空間，

在所述內(nèi)部空間中布置有填充物(13)，

所述填充物(13)被設(shè)計為支承結(jié)構(gòu)，所述支承結(jié)構(gòu)具有多個空腔(15)和布置在所述空腔之間的連接片(17)，

由此，所述支承結(jié)構(gòu)在整個所述封閉的內(nèi)部空間上延伸，并且由此，所述支承結(jié)構(gòu)增加所述機械振動器(7)的穩(wěn)定性和剛性。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述填充物(13)具有相對于所述外罩(9)降低的密度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述支承結(jié)構(gòu)被規(guī)則地設(shè)計。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述支承結(jié)構(gòu)在橫截面上被設(shè)計成蜂窩狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述支承結(jié)構(gòu)具有在橫截面上被設(shè)計成圓形的所述空腔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述內(nèi)部空間被發(fā)泡材料填充。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述發(fā)泡材料為發(fā)泡金屬。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述外罩(9)和/或所述支承結(jié)構(gòu)的壁厚在50μm和500μm之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述外罩(9)和/或所述支承結(jié)構(gòu)的壁厚在100μm和400μm之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振動傳感器(1)，其特征在于，所述外罩(9)和/或所述支承結(jié)構(gòu)的壁厚為300μm。

11.一種用于制造振動傳感器的機械振動器(7)的方法，其中，通過生成制造工藝來形成所述機械振動器(7)的至少一個外罩(9)，所述外罩具有至少一個封閉的內(nèi)部空間，在所述內(nèi)部空間中布置有填充物(13)，所述填充物(13)被設(shè)計為支承結(jié)構(gòu)，所述支承結(jié)構(gòu)具有多個空腔(15)和布置在所述空腔之間的連接片(17)，由此，所述支承結(jié)構(gòu)在整個所述封閉的內(nèi)部空間上延伸，并且由此，所述支承結(jié)構(gòu)增加所述機械振動器(7)的穩(wěn)定性和剛性。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，所述生成制造工藝是3D打印工藝。

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其特征在于，所述內(nèi)部空間是利用金屬泡沫發(fā)泡而成的。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，在3D打印工藝中利用所述外罩(9)轉(zhuǎn)印金屬泡沫。

15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，一同打印所述外罩(9)和布置在所述外罩(9)中的所述支承結(jié)構(gòu)。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，利用3D絲網(wǎng)印刷工藝打印所述外罩(9)和所述支承結(jié)構(gòu)。