[發(fā)明專利]用于太陽能電池的指狀電極及其制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710560338.6 | 申請(qǐng)日: | 2017-07-11 |
| 公開(公告)號(hào): | CN108155252B | 公開(公告)日: | 2020-09-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 樸相熙;金相珍;趙宰匯 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 三星SDI株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào): | H01L31/0224 | 分類號(hào): | H01L31/0224 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 楊文娟;臧建明 |
| 地址: | 韓國京畿道龍仁*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 太陽能電池 電極 及其 制造 方法 | ||
一種制造用于太陽能電池的指狀電極的方法和由其制造的用于太陽能電池的指狀電極,其包含(a)使用具有65%或更大孔徑比的印刷掩模將導(dǎo)電膏印刷在襯底的一個(gè)表面上;和(b)烘烤所印刷的導(dǎo)電膏,其中導(dǎo)電膏包含導(dǎo)電粉末、玻璃料和有機(jī)媒劑,并且其中有機(jī)媒劑包含在室溫下的蒸氣壓是0.1帕至500帕并且閃點(diǎn)是90℃至150℃的溶劑。因此,用于太陽能電池的指狀電極可展現(xiàn)大高寬比、良好的電特性以及高轉(zhuǎn)換效率。
相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
本申請(qǐng)要求2016年12月02日在韓國知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的韓國專利申請(qǐng)第10-2016-0163886號(hào)的權(quán)益,所述專利申請(qǐng)的全部公開內(nèi)容以引用的方式并入本文中。
技術(shù)領(lǐng)域
實(shí)施例是涉及一種制造用于太陽能電池的指狀電極的方法。更確切地說,實(shí)施例是涉及一種使用具有65%或更大孔徑比的印刷掩模制造用于太陽能電池的指狀電極及其制造方法。
背景技術(shù)
太陽能電池使用將日光的光子轉(zhuǎn)換成電的p-n結(jié)的光生伏打效應(yīng)產(chǎn)生電。在太陽能電池中,分別在具有p-n結(jié)的半導(dǎo)體晶片或襯底的上表面和下表面上形成前電極和后電極。隨后,通過進(jìn)入半導(dǎo)體晶片的日光誘發(fā)p-n結(jié)處的光生伏打效應(yīng)并且通過p-n結(jié)處的光生伏打效應(yīng)產(chǎn)生的電子通過電極將電流提供到外部。
太陽能電池的電極可以通過將具有開口的印刷掩模安置在將形成電極的地方,接著將導(dǎo)電膏安置在印刷掩模上,經(jīng)由印刷掩模的開口將導(dǎo)電膏以電極的形狀印刷在半導(dǎo)體襯底上并且烘烤導(dǎo)電膏而在半導(dǎo)體襯底上形成。
圖1中示出了一般用于形成用于太陽能電池的電極的印刷掩模的圖像。如圖1中所示,用于形成用于太陽能電池的電極的印刷掩模10是通過將光刻膠樹脂(photoresistresin)14施用于以對(duì)角線方向?qū)?zhǔn)的網(wǎng)孔12上,接著經(jīng)由光刻法(photoresist process)選擇性地去除所述部分的感光性樹脂以印刷電極,從而形成電極印刷部分16來形成。這種通用印刷掩模具有45%至60%的孔徑比。如本文所用,孔徑比意思指電極印刷部分的非網(wǎng)孔面積在電極印刷部分的全部面積中的百分比。
一般在太陽能電池的前表面上形成的指狀電極通常具有窄線寬和高厚度以增加日光的光接收面積。然而,在通用印刷掩模的使用中,無法提高電極的高寬比(高度/寬度比率)超出特定范圍,并且也不改善太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。
如今,提出一種使用具有65%或更大的相對(duì)高孔徑比的印刷掩模制造指狀電極的方法以便提高電極的高寬比。然而,如果用于具有相對(duì)低孔徑比的通用印刷掩模的導(dǎo)電膏被用于具有高孔徑比的印刷掩模,那么可能增加所印刷電極的表面粗糙度,從而造成高線路電阻或印刷誤差。
因此,需要一種使用具有65%或更大孔徑比的印刷掩模制造用于太陽能電池的電極而不劣化可印刷性或不增加電極表面粗糙度的方法。
背景技術(shù)公開在日本授權(quán)專利第4255248號(hào)中。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供一種制造用于太陽能電池的指狀電極的方法。實(shí)施例可以通過(a)使用具有65%或更大孔徑比的印刷掩模將導(dǎo)電膏印刷在襯底的一個(gè)表面上;和(b)烘烤所印刷的導(dǎo)電膏來實(shí)現(xiàn),其中所述導(dǎo)電膏包含導(dǎo)電粉末、玻璃料和有機(jī)媒劑,并且其中所述有機(jī)媒劑包含在室溫下的蒸氣壓是0.1帕至500帕并且閃點(diǎn)(flash point)是90℃至150℃的溶劑。
印刷掩模可具有65%至90%的孔徑比。
印刷掩模可包含網(wǎng)孔、與所述網(wǎng)孔一體化的感光性樹脂層、以及上面的感光性樹脂層被去除的電極印刷部分。安置于電極印刷部分的上部和下部上的網(wǎng)孔的緯線(weftthread)間隔可比安置于其它區(qū)域的網(wǎng)孔的間隔更寬。
烘烤可在700℃至1,000℃的溫度下進(jìn)行。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





