[發(fā)明專利]一種離子引出系統(tǒng)驅動裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710560156.9
• 申請日: 2017-07-05
• 公開（公告）號: CN109216141A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設計）人: 方明江;蔡成振
• 申請（專利權）人: 無錫誠承電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04;H01J37/15;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子引出系統(tǒng)驅動裝置，包括：X軸運動模塊、Y軸運動模塊、Z軸運動模塊、R軸運動模塊、真空密封模塊、電極模塊，所述電極模塊由引出地電極、抑制電極、絕緣瓷柱等構成；在X、Y、Z三個運動模塊和一個R軸旋轉模塊驅動電極模塊相對于離子源弧室引出板做相應的運動，四個運動模塊整體布局為一種龍門架式的方式，Z軸運動模塊在龍門架的最頂端，其余三個運動模塊在布置在龍門橫梁上；X軸、Y軸兩個運動模塊分別驅動電極模塊相對于離子源弧室引出板做左右和上下運動，Z軸運動模塊驅動前后方向運動，R軸運動模塊驅動電極模塊圍繞抑制電極入口平面的水平中心線做順時針或逆時針旋轉運動。

2.根據權利要求1所述的離子引出系統(tǒng)驅動裝置，其特征在于，X軸、Y軸和Z軸三個運動模塊均使用滾動導軌支撐，電機直接驅動高精密絲桿做直線運動。

3.根據權利要求1所述的離子引出系統(tǒng)驅動裝置，其特征在于，R軸運動模塊的旋轉支撐使用背對背相聯(lián)角接觸球軸承支撐，軸承固定方式處于預緊狀態(tài)。

4.根據權利要求1所述的離子引出系統(tǒng)驅動裝置，其特征在于，真空密封使用焊接波波紋管密封，焊接波紋管中心裝有L型聯(lián)接軸，用于R軸運動模塊終端與電極模塊的聯(lián)接。