[發明專利]一種高溫液體成分在線檢測裝置及方法在審
| 申請號: | 201710559729.6 | 申請日: | 2017-07-11 |
| 公開(公告)號: | CN109239056A | 公開(公告)日: | 2019-01-18 |
| 發明(設計)人: | 于海斌;孫蘭香;李洋;曾鵬 | 申請(專利權)人: | 中國科學院沈陽自動化研究所 |
| 主分類號: | G01N21/73 | 分類號: | G01N21/73 |
| 代理公司: | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002 | 代理人: | 許宗富 |
| 地址: | 110016 遼*** | 國省代碼: | 遼寧;21 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高溫液體 等離子體信號 在線檢測裝置 收集單元 信號激發 表面等離子體 被測樣品 表面激發 抖動影響 工藝過程 檢測結果 能源消耗 濃度信息 外殼內部 蒸發物質 組成元素 浸入 數據處理 集成度 監控室 濺射 燒損 激光 傳輸 靈活 配合 分析 | ||
1.一種高溫液體成分在線檢測裝置,其特征在于,包括:均設置于外殼(3)內的數據處理及控制單元(9)、信號激發及收集單元(7)、進氣流量控制單元(11)、出氣流量控制單元(6)、氣體壓力檢測單元(13)以及均設置于外殼(3)外部的探槍(1)和恒溫單元(8);所述數據處理及控制單元(9)分別連接信號激發及收集單元(7)、出氣流量控制單元(6)、進氣流量控制單元(11)、恒溫單元(8)、氣體壓力檢測單元(13),用于控制上述單元工作;所述探槍(1)設置于信號激發及收集單元(7)的出射光軸上,探槍(1)頂端分別連接信號激發及收集單元(7)、進氣流量控制單元(11)、出氣流量控制單元(6)、氣體壓力檢測單元(13),其末端浸入高溫液體(19);其末端還連接電極(15);惰性氣體經由進氣流量控制單元(11)、探槍(1)到達探槍(1)末端內部形成高溫液體(19)的取樣口(20),再經由出氣流量控制單元(6)將帶有激光激打廢棄物排出;激光經由信號激發及收集單元(7)、探槍(1)在高溫液體(19)表面聚焦;數據處理及控制單元(9)對高溫液體(19)表面反射回來的等離子體光譜信號進行分析獲取高溫液體(19)的被測成分的濃度;所述恒溫單元(8)實時控制高溫液體成分在線檢測裝置工作在恒定溫度;所述氣體壓力檢測單元(13)實時反饋取樣口(20)的氣體壓力;數據處理及控制單元(9)通過電極(15)實時檢測取樣口(20)內的液面高度。
2.按照權利要求1所述一種高溫液體成分在線檢測裝置,其特征在于,所述信號激發及收集單元(7)包括:與數據處理及控制單元(9)連接的激光發生模塊(18)、設置于激光發生模塊(18)出射光路方向的聚焦鏡組(5)、設置于聚焦鏡組(5)出射方向的激發-信號耦合鏡組(4)、設置于激發-信號耦合鏡組(4)信號光出射方向的收集鏡組(12)、與數據處理及控制單元(9)連接的光譜儀(10)。
3.按照權利要求2所述一種高溫液體成分在線檢測裝置,其特征在于,所述探槍(1)包括內腔(16)和外腔(17),所述內腔(16)連接進氣流量控制單元(11),所述外腔(17)連接出氣流量控制單元(6),所述內腔(16)與外腔(17)為中空結構且在取樣口(20)處相互連通;所述激光發生模塊(18)出射激光經過激發-信號耦合鏡組(4)后與內腔(16)同軸,所述激發-信號耦合鏡組(4)信號光入射光軸與內腔(16)同軸。
4.按照權利要求1所述一種高溫液體成分在線檢測裝置,其特征在于,所述數據處理及控制單元(9)包括:處理芯片、有線通訊模塊和無線通訊模塊。
5.按照權利要求1所述一種高溫液體成分在線檢測裝置,其特征在于,所述激發-信號耦合鏡組(4)包括二向色鏡和反射鏡。
6.按照權利要求1所述一種高溫液體成分在線檢測裝置,其特征在于,所述電極(15)為線圈或電阻或金屬片。
7.按照權利要求1所述一種高溫液體成分在線檢測裝置,其特征在于,所述探槍(1)外側設置有保護管(2)。
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