[發明專利]一種集成式MEMS充油壓力傳感器

在審

• 申請號: 201710557211.9
• 申請日: 2017-07-10
• 公開（公告）號: CN107144391A
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 單建利
• 申請（專利權）人: 深圳瑞德感知科技有限公司
• 主分類號: G01L7/18
• 分類號: G01L7/18;G01L19/04
• 代理公司: 北京東方匯眾知識產權代理事務所(普通合伙)11296
• 代理人: 張淑賢

1.一種集成式MEMS充油壓力傳感器，包括金屬基座，所述金屬基座內設有環形的凸臺，其特征在于，所述凸臺上安裝有雙層電路板，所述雙層電路板的上側面上設有壓力芯片和集成電路芯片，所述雙層電路板上設有與所述壓力芯片和所述集成電路芯片相連的處理電路，所述壓力芯片和所述集成電路芯片通過邦線相連；所述金屬基座的上端還通過焊環焊接有金屬膜片，所述金屬膜片、所述金屬基座、所述凸臺和所述雙層電路板圍成的油腔內填充有硅油，所述凸臺與所述雙層電路板通過密封膠粘接相連并保持密封；所述凸臺的下側還固定有與所述雙層電路板相連的外設電路板，所述雙層電路板上設有過電孔，通過所述過電孔連接所述雙層電路板的上下兩側并與所述外設電路板相連，所述外設電路板上設有外圍元器件。

2.根據權利要求1所述的集成式MEMS充油壓力傳感器，其特征在于，所述過電孔設置在所述雙層電路板的周邊且所述過電孔的下端被所述凸臺遮擋并由密封膠密封。

3.根據權利要求1所述的集成式MEMS充油壓力傳感器，其特征在于，所述金屬基座上設有注油孔，所述注油孔一端與油腔相通，所述注油孔的另一端設有密封鋼球。

4.根據權利要求3所述的集成式MEMS充油壓力傳感器，其特征在于，所述外設電路板上與所述注油孔對應的位置還設有避讓圓孔。

5.根據權利要求4所述的集成式MEMS充油壓力傳感器，其特征在于，所述金屬基座和所述金屬膜片的材質均為不銹鋼。

6.根據權利要求5所述的集成式MEMS充油壓力傳感器，其特征在于，所述金屬基座的外周面上設有凹槽，所述凹槽內安裝有密封圈。