[發明專利]一種微反應器的加工方法及微反應器

有效

• 申請號: 201710556517.2
• 申請日: 2017-07-10
• 公開（公告）號: CN107376796B
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發明（設計）人: 于志遠;何燕清;佘建峰;劉于航
• 申請（專利權）人: 于志遠
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

本發明實施例提供了一種微反應器的加工方法及微反應器，其中的微反應器的加工方法，包括：將藍寶石晶體毛坯加工成微反應器基片；在微反應器基片的表面加工微反應通道；將微反應器基片通過層疊連接的方式形成微反應單元；對微反應單元的連接面進行封裝。本發明提供的一種微反應器的加工方法，生產出來的藍寶石基片，在成型為微反應器生產納米材料，反應過程在微米級別的微通道中反應，控制好工藝條件，極容易得到納米材料，產品質量好、成本低、效率高。

技術領域

本發明涉及微反應器技術領域，具體的說涉及一種微反應器的加工方法及微反應器。

背景技術

目前微反應設備對基片材料的要求主要由無色透明和耐腐蝕、耐高溫的特性。針對兩個特性：

1、無色透明性；因為在微化工設備的微通道設計和調試封裝過程中，物質的流動、混合、反應、生成的形貌等過程必須依靠高速電子顯微鏡的顯示，便于觀察反應，與理論的計算機模型和設計理論對比分析，經反應產物的分析、化驗后，可以快速優化調整各項技術參數，使所研發或生產的微化工設備達到設計和生產目的。

2、耐腐蝕、耐高溫性：因為在化學工業中，大部分的化學反應是酸、堿等反應，還有部分反應為高溫反應，符合此條件的基片材料有藍寶石、陶瓷、碳化硅材料。這幾種材料中，陶瓷的加工產品良率低，碳化硅屬于價格高昂、無法大規模量產的小眾材料，加工設備少。

發明內容

鑒于以上所述的技術問題，本發明實施例提供了一種微反應器的加工方法及微反應器，解決能滿足大部分主流微化工工藝的要求，并且基片材料能滿足大規模、低成本的加工的技術問題。

本發明的發明內容是通過以下技術方案實現的：

一種微反應器的加工方法，包括：

將藍寶石晶體毛坯加工成微反應器基片；

在微反應器基片的表面加工微反應通道；

將微反應器基片通過層疊連接的方式形成微反應單元；

對微反應單元的連接面進行封裝。

可選擇地，所述將藍寶石晶體毛坯加工成微反應器基片，包括：

步驟(10)、切方，用于將藍寶石晶體毛坯切割成長方形晶體；

步驟(20)、切割，用于將長方形晶體切割成若干個藍寶石基片；

步驟(30)、粗磨，用于對藍寶石基片的表面進行磨平；

步驟(40)、退火，用于粗磨后的藍寶石基片進行退火處理；

步驟(50)、拋光，用于對退火處理后的藍寶石基片進行表面拋光。

可選擇地，還包括步驟(15)、磨平，用于控制長方形晶體表面與晶向之間的垂直度在預設范圍內；

步驟(15)中，控制長方形晶體的兩端平面誤差在3um以內。

可選擇地，步驟(30)中，采用碳化硼研磨液對藍寶石基片進行粗磨；

步驟(40)中，把粗磨后的藍寶石基片置于1400-1600℃的恒溫氣氛中退火10-15小時；步驟(40)中，把粗磨后的藍寶石基片置于1500℃的恒溫氣氛中退火12小時。

可選擇地，所述步驟(50)，包括：

步驟(510)、粗拋，采用銅拋機進行粗拋處理；

步驟(520)、精拋，采用拋光機進行精拋處理；

其中：步驟(510)，包括：

步驟(511)、絲印，用液體蠟對藍寶石基片進行絲印刷蠟；