[發明專利]一種基于共面波導的RF?MEMS可調濾波器在審
| 申請號： | 201710554860.3 | 申請日： | 2017-07-10 |
| 公開（公告）號： | CN107395156A | 公開（公告）日： | 2017-11-24 |
| 發明（設計）人： | 陳磊;王歡 | 申請（專利權）人： | 池州睿成微電子有限公司 |
| 主分類號： | H03H9/46 | 分類號： | H03H9/46 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司31300 | 代理人： | 董澤宇 |
| 地址： | 247100 安徽省池州市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 波導 rf mems 可調 濾波器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于共面波導的RF-MEMS可調濾波器，其特征在于，包含帶通濾波器、RF-MEMS開關，所述帶通濾波器由兩端K倒相器及其中間的CPW傳輸線構成，所述RF-MEMS開關包含上極板、下級板和錨區，上極板呈凸起的橫梁狀，下級板是共面波導傳輸線的一部分，所述兩個錨區分別串接有一個固定的接地電容Ci，所述RF-MEMS開關所含的電容Cs模擬可調，所述RE-MEMS開關與帶通濾波器串聯。
2.如權利要求1所述的一種基于共面波導的RF-MEMS可調濾波器，其特征在于：所述RF-MEMS開關為靜電力驅動型RF-MEMS開關。
3.如權利要求1所述的一種基于共面波導的RF-MEMS可調濾波器，其特征在于：所述RF-MEMS開關所含的電容Cs的前三分之一模擬可調。
4.如權利要求1所述的一種基于共面波導的RF-MEMS可調濾波器，其特征在于：所述兩個接地電容Ci由跨接在開關錨區兩側地線的空氣橋提供。
5.如權利要求1所述的一種基于共面波導的RF-MEMS可調濾波器，其特征在于：所述CPW傳輸線的中間電路長度為ΦL0。
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