[發(fā)明專利]一種提高玻璃鍍銅連接強(qiáng)度的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710554715.5
• 申請(qǐng)日: 2017-07-10
• 公開（公告）號(hào): CN107225329A
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何寶鳳;魏翠娥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B23K26/352
• 分類號(hào): B23K26/352;B23K26/066;B23K26/60
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11203
• 代理人: 張慧

1.一種提高玻璃鍍銅連接強(qiáng)度的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、選取CMG玻璃基板；

步驟2、將CMG玻璃基板放置在工作臺(tái)上，調(diào)整工作臺(tái)使準(zhǔn)分子激光器發(fā)出的準(zhǔn)分子激光束對(duì)準(zhǔn)加工位置；

步驟3、根據(jù)焦點(diǎn)位置調(diào)整CMG玻璃基板到焦平面的距離；

步驟4、通過改變激光加工參數(shù)，在玻璃表面形成不同的紋理圖案結(jié)構(gòu)，得到不同的蝕刻深度及三維表面粗糙度特征，所述激光加工參數(shù)包含：激光重復(fù)頻率、激光能量密度、衰減器位置；

步驟5、將準(zhǔn)分子激光加工好的粗糙化表面用未稀釋的Decon 90清洗5分鐘，并用去離子水沖洗3-5分鐘；

步驟6、采用催化劑溶液激活玻璃表面并用去離子水沖洗3-5分鐘；

步驟7、將經(jīng)過處理的玻璃基板浸入鍍銅槽浸泡10分鐘，最后進(jìn)行沖洗并干燥；

步驟8、通過劃痕試驗(yàn)定量檢測(cè)在玻璃上鍍銅的質(zhì)量；

步驟9、最后進(jìn)行三維形貌測(cè)量，并將劃痕測(cè)試結(jié)果與三維表面粗糙度參數(shù)相結(jié)合，找到鍍層失效的臨界負(fù)載。

2.如權(quán)利要求1所述的提高玻璃鍍銅連接強(qiáng)度的方法，其特征在于，步驟1中，CMG玻璃基板的尺寸為40mm*40mm，厚度為100μm。

3.如權(quán)利要求1所述的提高玻璃鍍銅連接強(qiáng)度的方法，其特征在于，步驟3中，CMG玻璃基板在焦平面以下2mm位置處。

4.如權(quán)利要求1所述的提高玻璃鍍銅連接強(qiáng)度的方法，其特征在于，步驟4中，采用單一變量法，依次探究重復(fù)頻率、能量密度、單位面積上的脈沖個(gè)數(shù)、衰減器位置設(shè)置不同值時(shí)對(duì)蝕刻深度、加工質(zhì)量的影響；刻蝕深度取決于激光的能量密度和單位面積上的脈沖個(gè)數(shù)，并且可以通過提高能量密度、單位面積上的脈沖個(gè)數(shù)和激光脈沖重復(fù)頻率來提高加工質(zhì)量。

5.如權(quán)利要求1所述的提高玻璃鍍銅連接強(qiáng)度的方法，其特征在于，固定脈沖持續(xù)時(shí)間為20ns，激光蝕刻最小的能量為140mJ，衰減器的位置為0.9。

6.如權(quán)利要求1所述的提高玻璃鍍銅連接強(qiáng)度的方法，其特征在于，CMG玻璃對(duì)波長在193nm到308nm之間的光的吸收率大于80％，采用波長為248nm的KrF準(zhǔn)分子激光器進(jìn)行表面處理，能夠有效地利用激光能量。