[發明專利]一種AZO濺射靶的制備方法

有效

• 申請號: 201710548276.7
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN107365967B
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 張天舒;陳晨;孔令兵;錢邦正;蔣衛國
• 申請（專利權）人: 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/08
• 代理公司: 11411 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 張清彥

1.一種AZO濺射靶的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

(1)將Al(NO₃)₃溶液加入納米ZnO懸浮液中進行混合均勻，保持攪拌，加入沉淀劑，沉淀完全后進行靜置陳化，沉淀物經洗淀、干燥、研磨、過篩制得AZO前驅體；所述步驟(1)中沉淀劑為尿素、氨水或碳酸銨；

(2)將AZO前驅體3～5℃/min升溫至100～200℃，保溫24h，再以3℃/min升溫至400～600℃，保溫3～5小時，即得Al₂O₃均勻包覆ZnO的粉體；

(3)將包覆粉體進行成型燒結處理后制得AZO濺射靶。

2.根據權利要求1所述的一種AZO濺射靶的制備方法，其特征在于：所述步驟(1)中Al(NO₃)₃溶液的濃度為0.02～0.06mol/L，ZnO懸浮液中ZnO的含量為200g/L，Al(NO₃)₃溶液和ZnO懸浮液的體積比為1:6～9。

3.根據權利要求1所述的一種AZO濺射靶的制備方法，其特征在于：所述納米ZnO是由以下方法制備而成：取Zn²⁺濃度為1～2mol/L的Zn(NO₃)₂溶液加入尿素進行沉淀，并控制最終溶液的pH值6～9，得到白色沉淀；母液經超聲波處理1小時后，繼續攪拌并陳化1～24小時；真空抽濾，所得產物反復用去離子水洗滌，再用有機溶劑洗滌，烘干，500～800℃處理后，即得納米ZnO。

4.根據權利要求3所述的一種AZO濺射靶的制備方法，其特征在于：所述有機溶劑為體積比為1：3：5的環己醇、乙酸乙酯和乙醇。

5.根據權利要求1所述的一種AZO濺射靶的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中成型燒結的條件為：以2℃/min升溫至1200～1400℃并保溫5～10小時，最后隨爐冷卻至室溫，即得AZO濺射靶材。