[發(fā)明專利]超聲波感測模組及其制作方法、電子裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710548230.5
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN107563273B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭小兵
• 申請（專利權(quán)）人: 業(yè)泓科技(成都)有限公司
• 主分類號: G06K9/00
• 分類號: G06K9/00;H01L27/20;H04M1/02;H04M1/23
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 汪飛亞

1.一種超聲波感測模組的制作方法，包括以下步驟：

提供一母壓電層，所述母壓電層為壓電材料；

在所述母壓電層上形成多個(gè)薄膜晶體管陣列及在所述母壓電層與所述多個(gè)薄膜晶體管陣列相對的一表面形成一圖案化的電極材料層，所述母壓電層形成有將所述母壓電層切割成多個(gè)壓電層的切割位置，兩相鄰的所述薄膜晶體管陣列之間具有一暴露所述切割位置的第一間隙，所述圖案化的電極材料層形成有暴露所述切割位置的第二間隙，所述母壓電層、電極材料層、薄膜晶體管陣列共同構(gòu)成一層疊體；

將所述層疊體沿切割位置切割，形成多個(gè)獨(dú)立的超聲波感測模組。

2.如權(quán)利要求1所述的超聲波感測模組的制作方法，其特征在于：所述電極材料層通過絲網(wǎng)印刷的方式形成。