[發明專利]微機電裝置

在審

• 申請號: 201710546475.4
• 申請日: 2017-07-06
• 公開（公告）號: CN109211217A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 林炯文;羅炯成
• 申請（專利權）人: 立锜科技股份有限公司
• 主分類號: G01C19/5712
• 分類號: G01C19/5712;G01C19/5747
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 李蘭;孫志湧

1.一種微機電裝置，其特征在于，包含：

至少兩質量結構；以及

至少一彈性連接體，連接于該至少兩質量結構之間，各該彈性連接體包含：

至少兩個折繞型彈性部，互相直接連接于一連接點；以及

至少兩個連接部，其中，該些折繞型彈性部分別通過對應的連接部而連接于該至少兩質量結構，以使該至少兩質量結構可在第一方向上進行反向的位移運動。

2.如權利要求1所述的微機電裝置，其中，每一彈性連接體僅通過單一錨點而連接至一基板。

3.如權利要求2所述的微機電裝置，其中，該單一錨點經由一伸縮彈簧而連接至對應該彈性連接體的連接點，以引導該連接點產生一第二方向位移運動，該第二方向垂直于該第一方向，其中該連接點與該伸縮彈簧直接或間接連接。

4.如權利要求3所述的微機電裝置，其中，該連接點與該伸縮彈簧經由一第一內部質量結構間接連接。

5.如權利要求3所述的微機電裝置，其中，該連接點與一第一內部質量結構連接。

6.如權利要求1所述的微機電裝置，其中，該至少兩質量結構間通過至少兩彈性連接體以彼此連接，且該至少兩彈性連接體的布局為鏡像對稱。

7.如權利要求6所述的微機電裝置，其中，還包含至少一第一內部質量結構，連接于該些彈性連接體的連接點之間，該些彈性連接體提供該至少一第一內部質量結構的該第二方向位移運動、或提供該至少一第一內部質量結構產生旋轉運動。

8.如權利要求7所述的微機電裝置，其中，該些彈性連接體的該些連接點，在該第一方向上相隔一段距離，以提供該至少一第一內部質量結構的該旋轉運動。

9.如權利要求6所述的微機電裝置，其中，還包含至少兩個第一內部質量結構，各該第一內部質量結構的一側通過連接一伸縮彈簧而彼此相連，且各該第一內部質量結構的另一側分別連接各對應的該連接點，由此，兩個該彈性連接體提供該些第一內部質量結構在第二方向上的反向的位移運動，該第二方向垂直于該第一方向。

10.如權利要求1所述的微機電裝置，其中，還包含至少兩個第一內部質量結構，其中該伸縮彈簧連接于該些連接點之間，且各該第一內部質量結構的一側通過連接該伸縮彈簧而彼此相連，并經由該伸縮彈簧而連接至各對應的該連接點，各該第一內部質量結構的另一側分別連接于各對應的一錨點，由此，該些彈性連接體提供該些第一內部質量結構反向的兩個該旋轉運動。

11.如權利要求10所述的微機電裝置，其中，該至少兩個第一內部質量結構為鏡像對稱設置于該伸縮彈簧兩側，或設置于該伸縮彈簧同一側。

12.如權利要求1所述的微機電裝置，其中，該微機電裝置包含兩個該彈性連接體，該微機電裝置還包含至少一第二內部質量結構，連接于該些連接部，該些彈性連接體提供該至少一第二內部質量結構產生旋轉運動。

13.如權利要求12所述的微機電裝置，其中，該微機電裝置包含兩個該第二內部質量結構，各該第二內部質量結構的一側分別連接于對應的該連接部，各該第二內部質量結構的另一側分別連接于一錨點，兩個該彈性連接體提供該些第二內部質量結構產生反向的兩個該旋轉運動。

14.如權利要求12所述的微機電裝置，其中，該微機電裝置包含兩個該第二內部質量結構，各該第二內部質量結構的一側分別連接于對應的該連接部，各該第二內部質量結構的另一側連接于一共同錨點，兩個該彈性連接體提供該些第二內部質量結構產生反向的兩個該旋轉運動。