[發(fā)明專利]圓筒光罩

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710546115.4
• 申請(qǐng)日: 2014-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN107390480B
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 加藤正紀(jì)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社尼康
• 主分類號(hào): G03F7/24
• 分類號(hào): G03F7/24
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;王娟娟

1.一種圓筒光罩，其沿著相對(duì)于規(guī)定的中心線具有固定半徑的圓筒面形成有光罩圖案，且以能夠繞著所述中心線旋轉(zhuǎn)的方式安裝在曝光裝置上，其特征在于，

在所述圓筒面上，以沿所述圓筒面的圓周方向隔開間隔Sx的方式排列形成有n個(gè)顯示面板用的長方形的光罩區(qū)域，其中，n≥2，該光罩區(qū)域包括長邊尺寸為Ld、短邊尺寸為Lc、長寬比Asp為Ld/Lc、且長邊方向沿著所述中心線的顯示畫面區(qū)域、和與其周邊相鄰地設(shè)置的周邊電路區(qū)域，

當(dāng)將所述光罩區(qū)域的沿著所述中心線的方向的長邊方向的尺寸L設(shè)為所述顯示畫面區(qū)域的長邊尺寸Ld的e₁倍、將所述光罩區(qū)域的沿著所述圓筒面的圓周方向的短邊方向的尺寸設(shè)為所述顯示畫面區(qū)域的短邊尺寸Lc的e₂倍時(shí)，其中，e₁≥1，e₂≥1，所述圓筒面的在所述中心線的方向上的長度設(shè)定為所述尺寸L以上，并且當(dāng)將所述圓筒面的直徑設(shè)為φ、將圓周率設(shè)為π時(shí)，設(shè)定為πφ＝n(e₂·Lc+Sx)，進(jìn)一步地，

以使所述尺寸L與所述直徑φ的比率L/φ為1.3≤L/φ≤3.8的范圍的方式設(shè)定所述直徑φ、所述個(gè)數(shù)n、所述間隔Sx。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓筒光罩，其特征在于，

具有用于沿著所述直徑φ的外周面保持所述光罩圖案的圓筒基材。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述圓筒基材由金屬制圓筒體構(gòu)成，

所述光罩圖案構(gòu)成為在所述圓筒基材的外周面上直接形成針對(duì)來自所述曝光裝置的照明光的高反射部和低反射部而成的反射型光罩圖案。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述光罩圖案構(gòu)成為在薄板上形成針對(duì)來自所述曝光裝置的照明光的高反射部和低反射部而成的反射型薄片光罩，

所述反射型薄片光罩沿著所述圓筒基材的外周面而被保持為圓筒狀，

所述直徑φ成為形成有所述反射型薄片光罩的圖案的光罩面的直徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述圓筒基材能夠裝拆地保持預(yù)先以固定半徑彎曲成圓弧狀的板狀的所述反射型薄片光罩。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述圓筒基材由具有固定厚度的圓環(huán)狀的透明筒構(gòu)成，

所述光罩圖案構(gòu)成為透過型光罩圖案，該透過型光罩圖案在所述透明筒的外周面上直接描繪形成有對(duì)來自所述曝光裝置的照明光成為遮光層的圖案。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述圓筒基材由具有固定厚度的圓環(huán)狀的透明筒構(gòu)成，

所述光罩圖案構(gòu)成為由薄玻璃板構(gòu)成的平面狀的透過型薄片光罩，該透過型薄片光罩形成有對(duì)來自所述曝光裝置的照明光成為遮光層的圖案，

所述透過型薄片光罩順著所述圓筒基材的外周面彎曲并卷繞為圓筒狀，

所述直徑φ成為形成有所述透過型薄片光罩的圖案的光罩面的直徑。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述透過型薄片光罩具有未形成所述圖案的非圖案形成區(qū)域，

所述圓筒基材在所述非圖案形成區(qū)域能夠裝拆地保持所述透過型光罩圖案。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述長度L和所述直徑φ的關(guān)系被設(shè)定為進(jìn)一步滿足L/φ≤2.6。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述光罩圖案包括：形成使各像素驅(qū)動(dòng)的TFT用的電極或布線的圖案、和所述顯示畫面區(qū)域的各像素的圖案，其中，所述各像素配置在所述顯示畫面區(qū)域。

11.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述顯示畫面區(qū)域?qū)?yīng)于液晶顯示器或有機(jī)EL顯示器的顯示畫面。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的圓筒光罩，其特征在于，

所述顯示畫面區(qū)域的所述長邊尺寸Ld與所述短邊尺寸Lc的比為16:9或2：1。