[發(fā)明專利]一種光刻機(jī)用快門葉片裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710543036.8
• 申請(qǐng)日: 2017-07-05
• 公開（公告）號(hào): CN109212910A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王彥飛;劉國淦;章富平;賈翔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

1.一種快門葉片裝置，用于光刻機(jī)曝光系統(tǒng)，其特征在于，包括兩個(gè)快門葉片、兩個(gè)隔熱板，每個(gè)快門葉片連接一個(gè)隔熱板。

2.如權(quán)利要求1所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述兩個(gè)快門葉片在入射光光軸方向上有間隙。

3.如權(quán)利要求1或2所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述兩個(gè)快門葉片閉合時(shí)，所述兩個(gè)快門葉片在垂直于入射光光軸方向上部分重合。

4.如權(quán)利要求1或2所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述快門葉片為鋁合金材質(zhì)。

5.如權(quán)利要求1或2所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述快門葉片厚度為0.5mm-3mm。

6.如權(quán)利要求1所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述快門葉片具有一接受入射光照射的受光面，所述受光面為光滑鏡面。

7.如權(quán)利要求6所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述受光面的表面粗糙度Ra小于等于0.01μm。

8.如權(quán)利要求6所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述受光面的制作采用金剛石切削加工。

9.如權(quán)利要求1所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述快門葉片具有一接受入射光照射的受光面，所述快門葉片還具有一與所述受光面相對(duì)的背光面，所述背光面做減薄處理。

10.如權(quán)利要求1所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述快門葉片具有一接受入射光照射的受光面，所述快門葉片還具有一與所述受光面相對(duì)的背光面，所述背光面設(shè)置有凹槽和加強(qiáng)筋。

11.如權(quán)利要求9或10所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述背光面對(duì)應(yīng)入射光照射區(qū)域處不進(jìn)行減薄處理，或進(jìn)行的減薄處理程度小于其他區(qū)域。

12.如權(quán)利要求1所述的快門葉片裝置，其特征在于，所述隔熱板通過螺釘固定連接在所述快門葉片的端部。