[發(fā)明專利]一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710542092.X | 申請日： | 2017-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN107315070A | 公開（公告）日： | 2017-11-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 胡俊輝;蘇松飛 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京航空航天大學(xué) |
| 主分類號： | G01N33/00 | 分類號： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 江蘇圣典律師事務(wù)所32237 | 代理人： | 賀翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 超聲 輔助 mos 氣體 傳感器 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：壓電換能單元(1)、絕緣隔熱層(2)、加熱板(3)、MOS傳感材料(4)、聲場(5)、反射板(6)，壓電換能單元（1）表面上固定絕緣隔熱層（2），絕緣隔熱層（2）上固定加熱板（3），加熱板（3）表面上固定MOS傳感材料（4），MOS傳感材料（4）上方設(shè)置反射板（6），反射板（6）和MOS傳感材料（4）之間形成聲場（5）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于， 壓電換能單元（1）采用單層壓電片、多層壓電單元或夾心式超聲換能器中的一種制作。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于，聲場（5）高度為0~10λ，所述λ為工作聲場的波長。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于，壓電換能單元（1）的工作頻率范圍是10Hz-50MHz，λ=v/f，其中，λ為所述工作聲場的波長，v為聲速，f為所述壓電換能單元（1）的工作頻率。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于，加熱板（2）的溫度可調(diào)節(jié)，溫度范圍是20℃-500℃。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于， MOS傳感材料（4）采用膜材料、體材料或納米材料中的一種制作。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于，通過聲場計算方法,得到加熱板（3）上聲壓效果最強處和聲學(xué)流效果最弱處,MOS傳感材料（4）位置分布在所述聲壓效果最強處或所述聲學(xué)流效果最弱處。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超聲輔助型MOS氣體傳感器的結(jié)構(gòu)，其特征在于，反射板（6）與絕緣隔熱層（2）平行放置。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于南京航空航天大學(xué)，未經(jīng)南京航空航天大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710542092.X/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種環(huán)保云平臺
- 下一篇：一種視頻點播方法及系統(tǒng)
