[發明專利]蒸鍍設備、坩堝及蒸鍍方法

有效

• 申請號: 201710538880.1
• 申請日: 2017-07-04
• 公開（公告）號: CN107267920B
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 戰泓升;趙德江;金鑫;閆華杰;劉暾
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 劉延喜;王增鑫

一種蒸鍍設備，包括主腔體、與主腔體連接的抽真空裝置、控制裝置及至少一個蒸發位，還包括至少一個儲備腔體、能夠受控制裝置控制而吊裝/夾持坩堝并使坩堝在蒸發位與儲備腔體之間進行轉移的坩堝更換裝置，儲備腔體通過第一通孔與主腔體的內部空間連通，第一通孔處設有能夠受控制裝置控制而移位以使第一通孔改變通閉狀態的隔離密封件，蒸發位位于主腔體的底部內側并設有加熱裝置；坩堝更換裝置包括伸縮升降式旋轉吊裝機構，伸縮升降式旋轉吊裝機構與主腔體的底面連接且處于主腔體的內部空間內，其中包括多個儲備腔體，增加了備用坩堝的數量，降低了破主腔體真空環境的次數，并同時降低了該操作給主腔體帶來的水氧污染，提高了OLED生產制作的效率。

技術領域

本發明涉及顯示器制造領域，尤其涉及一種蒸鍍設備、坩堝及蒸鍍方法。

背景技術

在平板顯示器中，有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)顯示器具有寬視角、高亮度、高對比度、低驅動電壓和快速響應的優點，被認為是下一代顯示技術，并以其色彩鮮艷、功耗低、產品薄等諸多優點在市場上受到了廣大消費者的喜愛。目前實現OLED器件量產的方法主要為蒸鍍方法，由于OLED器件對水氧十分敏感，因此在制作OLED顯示器時，需要在高真空條件下進行，并利用電阻絲對放置在專用坩堝內的源材料進行加熱，源材料蒸發出來在基板上形成薄膜，通過精細金屬掩膜板實現薄膜的圖案化，因此OLED顯示器中蒸鍍是必不可少的制程。

現有技術的蒸鍍設備中，坩堝填料量有限，在蒸鍍過程每次材料用盡后都需要破真空，打開真空腔室重新添加材料，既耽誤了OLED顯示器的制作時間，同時不能很好的保證蒸鍍腔室內的低水氧環境，從而容易產生污染，因此有必要對用于OLED顯示器制作的蒸鍍設備進行改進，以達到降低蒸鍍制作過程污染的問題。

發明內容

本發明的目的旨在提供一種蒸鍍設備、坩堝及蒸鍍方法，其解決了蒸鍍過程中因單個坩堝填料量有限，而需頻繁破蒸鍍腔室真空環境進行坩堝更換或添加源材料，進而耽誤制作時間的問題，以及頻繁破蒸鍍腔室真空環境帶來的水氧污染問題。

為了實現上述目的，本發明提供了以下技術方案：

本發明提供的一種蒸鍍設備，包括主腔體、與所述主腔體連接的抽真空裝置、控制裝置及至少一個蒸發位，還包括至少一個儲備腔體、能夠受所述控制裝置控制而吊裝/夾持坩堝并使所述坩堝在所述蒸發位與儲備腔體之間進行轉移的坩堝更換裝置，所述儲備腔體通過第一通孔與所述主腔體的內部空間連通，所述第一通孔處設有能夠受所述控制裝置控制而移位以使所述第一通孔改變通閉狀態的隔離密封件，所述蒸發位位于所述主腔體的底部內側并設有加熱裝置；所述坩堝更換裝置包括伸縮升降式旋轉吊裝機構，所述伸縮升降式旋轉吊裝機構與所述主腔體的底面連接且處于所述主腔體的內部空間內。

進一步地，所述儲備腔體開設有一開口及與所述開口相對應的開關門，所述開口及所述開關門位于所述主腔體內部空間外，所述儲備腔體與所述抽真空裝置連接。

進一步地，所述伸縮升降式旋轉吊裝機構包括第一端和第二端，所述第一端與所述主腔體的底面連接且處于所述主腔體的內部空間內，所述第二端設有電磁鐵/夾持裝置，用于吊裝/夾持坩堝實現坩堝位置的轉移。

進一步地，所述主腔體為圓柱形且包括多個所述蒸發位，所述蒸發位沿所述主腔體底部內側底面下沉并圍繞所述主腔體軸心線均勻分布，形成多個蒸發腔體，多個所述儲備腔體圍繞所述主腔體軸心線均勻分布且所述儲備腔體頂面與所述主腔體底面連接，且在連接處設有所述第一通孔，使所述儲備腔體與所述主腔體的內部空間連通。

優選地，所述開口及所述開關門位于所述儲備腔體側壁，多個所述儲備腔體形成的環位于多個所述蒸發位形成的環內。

本發明還提供了一種坩堝，所述坩堝與上述任意一項所述的蒸鍍設備相配合，所述坩堝設有被所述坩堝更換裝置吊裝/夾持的吊裝固定件。