[發明專利]感光性組合物及硬化膜

在審

• 申請號: 201710537808.7
• 申請日: 2017-06-29
• 公開（公告）號: CN107589632A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 堀田佑策
• 申請（專利權）人: 捷恩智株式會社
• 主分類號: G03F7/008
• 分類號: G03F7/008;G03F7/004;C08G69/44;G02B1/14
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 彭雪瑞,臧建明

技術領域

本發明涉及一種在電子零件中的絕緣材料、半導體裝置中的鈍化膜、緩沖涂膜、層間絕緣膜或平坦化膜，或者顯示元件中的層間絕緣膜或彩色濾光片用保護膜等的形成中所使用的感光性組合物、利用該感光性組合物的硬化膜及具有該硬化膜的電子零件。

背景技術

在僅于所需部分形成保護膜的情況下或在絕緣膜中形成孔圖案的情況下，一直使用感光性組合物。作為感光性組合物的例子，可列舉丙烯酸系的正型感光性組合物(專利文獻1)。伴隨著提高顯示器所要求的可靠性的要求特性，而提高顯示器構件所要求的耐熱性中，專利文獻1中記載的材料的問題在于進一步的高耐熱性化。為了解決該問題，提出有耐熱性良好的聚酯酰胺酸系的正型感光性組合物(專利文獻2)。進而，伴隨著近年來的顯示器的大型化，而成為容易產生保護膜形成步驟的干燥步驟中的面內的干燥不均的狀態。該狀態中，專利文獻2中記載的正型感光性組合物中，在干燥不充分且殘存溶劑多的部位中，有在局部的孔圖案中產生顯影液滲透的情況。如果產生該顯影液滲透，則面板顯示品質會降低。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平5-165214

[專利文獻2]日本專利特開2008-102351

發明內容

[發明所要解決的問題]

本發明的問題在于提供一種耐熱性良好且相對于顯影液滲透的干燥溫度裕度廣的保護膜用感光性組合物。

[解決問題的技術手段]

本發明者為了解決所述問題而進行了努力研究，結果發現通過如下的組合物、及使該組合物硬化所獲得的硬化膜可達成所述目的，從而完成了本發明，所述組合物包含聚酯酰胺酸、含環氧基的共聚物及1,2-醌二疊氮化合物。

本發明包含以下的構成。

[1]一種感光性組合物，其包含：聚酯酰胺酸(A)、含環氧基的共聚物(B)及1,2-醌二疊氮化合物(C)；

所述聚酯酰胺酸(A)包含下述式(1)所表示的構成單元及下述式(2)所表示的構成單元；

所述含環氧基的共聚物(B)為具有環氧基的聚合性化合物(b1)及(b1)以外的聚合性化合物(b2)的共聚物；

所述聚合性化合物(b2)包含選自下述式(3)所表示的化合物及下述式(4)所表示的化合物中的一種以上，

在式(1)中，R¹是碳數2～1000的有機基，R²是碳數2～1000的有機基；

在式(2)中，R³是碳數2～1000的有機基，R⁴是碳數2～100的有機基；

在式(3)中，R⁵為氫或碳數1～7的有機基，R⁶為碳數1～6的亞烷基，R⁷為碳數1～20的有機基，n1為1～100的整數；

在式(4)中，R⁸為氫或碳數1～7的有機基，R⁹及R¹⁰分別獨立地為碳數1～7的有機基或-OSi(R¹²)₃，R¹¹為碳數1～7的有機基或-Si(R¹³)₃，n2為2～10的整數，n3為1～100的整數，R¹²及R¹³分別獨立地為氫或碳數1～7的有機基。

[2]根據項[1]所述的感光性組合物，其中所述式(1)所表示的構成單元為將具有兩個以上的酸酐基的化合物(a1)及二胺(a2)設為原料的構成單元；

所述式(2)所表示的構成單元為將具有兩個以上的酸酐基的化合物(a1)及多元羥基化合物(a3)設為原料的構成單元。

[3]根據項[2]所述的感光性組合物，其中所述具有兩個以上的酸酐基的化合物(a1)為選自四羧酸二酐及苯乙烯-順丁烯二酸酐共聚物中的一種以上的化合物；

所述聚酯酰胺酸(A)為以使下述式(5)及式(6)的關系成立的比率包含X摩爾的四羧酸二酐、Y摩爾的二胺及Z摩爾的多元羥基化合物的原料的反應產物，

0.2≦Z/Y≦8.0···(5)

0.2≦(Y+Z)/X≦5.0···(6)。

[4]根據項[1]所述的感光性組合物，其中所述具有環氧基的聚合性化合物(b1)為選自具有環氧基的(甲基)丙烯酸酯中的一種以上；