[發明專利]一種高效低成本太陽能電池擴散工藝

在審

• 申請號: 201710536712.9
• 申請日: 2017-07-04
• 公開（公告）號: CN107293617A
• 公開（公告）日: 2017-10-24
• 發明（設計）人: 張耀;梁笑;范偉;蔣文曲;盧佳;毛文龍
• 申請（專利權）人: 常州天合光能有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/228
• 代理公司: 浙江永鼎律師事務所33233
• 代理人: 郭小麗

1.一種高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，包括以下步驟：

（1）將制絨的硅片裝入密舟中，并將密舟推入內部溫度為750~780℃的擴散爐石英管中，并通入大氮，保持10~20 min；

（2）升溫至780~820℃，并保持通入大氮，同時通入O₂，保持5~10min；

（3）保持恒溫780~800℃，并保持通入大氮，同時通入攜帶PoCl₃N₂的小氮，以及O₂，保持5~10 min；

（4）將溫度升高至820~840℃，并保持通入大氮，待恒溫后，同時通入攜帶PoCl₃N₂的小氮，以及O₂，保持5~10 min；

（5）將溫度升高至840~870℃，保持通入大氮，停止通入小氮，同時通入O₂，保持10~30 min；

（6）將溫度降低至750~780℃，保持通入大氮，停止通入氧氣，進行退火吸雜；

（7）在溫度750~780℃，并且保持通入大氮的環境下，將裝有硅片的密舟從擴散爐中拉出。

2.如權利要求1所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，所述步驟（1）中所述密舟中硅片之間的間距為2.04~2.38mm。

3.如權利要求1或2所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，每個密舟中放置的硅片數量為800~1200片。

4.如權利要求3所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，每個密舟中放置的硅片數量為1000片。

5.如權利要求1所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，所述步驟（1）~（7）中大氮的流量均為10~12L/min。

6.如權利要求5所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，所述步驟（2）中O₂的流量為500~2000sccm。

7.如權利要求6所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，所述步驟（3）中小氮的流量為800~1400sccm，O₂的流量為300sccm~600sccm。

8.如權利要求7所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，所述步驟（4）中小氮的流量為800~1400sccm，O₂的流量為300sccm~600sccm。

9.如權利要求8所述的高效低成本太陽能電池擴散工藝，其特征在于，所述步驟（5）中O₂的流量為300sccm~500sccm。