[發(fā)明專(zhuān)利]一種紅外偏振焦平面器件結(jié)構(gòu)及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710529967.2
• 申請(qǐng)日: 2017-06-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107342343B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李東升;楊超偉;韓福忠;郭建華;王向前;姚志健;封遠(yuǎn)慶;左大凡;王瓊芳;李京輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆明物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/09
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/09;H01L31/0232;H01L31/18
• 代理公司: 昆明今威專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 53115
• 代理人: 賽曉剛

1.一種紅外偏振焦平面器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括去除半導(dǎo)體襯底的紅外焦平面器件和亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵；

所述去除半導(dǎo)體襯底的紅外焦平面器件中，金屬微柱分布在讀出電路襯底正面的外圍，形成了由金屬微柱組成的矩形圈，且金屬微柱為金屬Al，金屬微柱之間存在有中心距；

所述讀出電路上的金屬微柱插入到亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵上的銦柱內(nèi)，且亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵位于去除半導(dǎo)體的紅外焦平面的上方，亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵正面向下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外偏振焦平面器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵中，亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵對(duì)中波紅外和長(zhǎng)波紅外波段的光實(shí)現(xiàn)偏振，且金屬線(xiàn)柵襯底正面的外圍有一個(gè)具有中心距的銦柱圍成的矩形圈，并和金屬微柱組成的矩形圈一一對(duì)應(yīng)，銦柱之間的中心距和讀出電路上的金屬微柱之間的中心距相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外偏振焦平面器件結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述銦柱圍成的矩形圈為方形圈。

4.一種紅外偏振焦平面器件結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟（1），在讀出電路襯底外圍，形成一個(gè)由金屬微柱組成的矩形圈；金屬微柱矩形圈通過(guò)在讀出電路襯底上涂覆光刻膠、光刻、顯影、金屬沉積和剝離實(shí)現(xiàn)；

步驟（2），在帶有金屬微柱的讀出電路襯底上制備銦柱，并通過(guò)回流使銦柱形成銦球；

步驟（3），將帶有半導(dǎo)體襯底的芯片和帶有金屬微柱的銦球讀出電路進(jìn)行倒裝互連，之后進(jìn)行下填充、背減和腐蝕工藝形成去除半導(dǎo)體襯底的紅外焦平面器件；步驟（4），制備帶有銦柱矩形圈的亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵；

步驟（5），通過(guò)將帶有銦柱矩形圈的亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵和去除半導(dǎo)體襯底的紅外焦平面器件進(jìn)行倒裝互連，使得讀出電路上的金屬微柱插入到亞波長(zhǎng)金屬線(xiàn)柵上的銦柱內(nèi)，進(jìn)而形成穩(wěn)定結(jié)構(gòu)的紅外偏振焦平面器件。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的紅外偏振焦平面器件結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述銦柱圍成的矩形圈為方形圈。