[發(fā)明專利]冷凝板、真空干燥設(shè)備以及真空干燥方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710526220.1
• 申請(qǐng)日: 2017-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN109200736B
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王輝鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/00
• 分類號(hào): B01D53/00;B01D5/00;F26B3/20;F26B5/04
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 姜春咸;陳源

1.一種冷凝板，用于在膜層干燥工藝中與待干燥基板相對(duì)設(shè)置，以使得待干燥基板上的溶劑蒸發(fā)后凝結(jié)在所述冷凝板上，所述冷凝板包括本體，其特征在于，所述本體上設(shè)置有溶劑存放結(jié)構(gòu)，所述溶劑存放結(jié)構(gòu)用于存放溶劑，所述溶劑用于蒸發(fā)后形成氣體，并朝向所述待干燥基板釋放；

所述溶劑存放結(jié)構(gòu)在所述本體所在平面上的正投影為環(huán)狀投影；

所述環(huán)狀投影的外環(huán)為矩形，矩形外環(huán)的長(zhǎng)度大于所述待干燥基板的待干燥區(qū)的長(zhǎng)度，矩形外環(huán)的寬度大于所述待干燥區(qū)的寬度；所述環(huán)狀投影的內(nèi)環(huán)為矩形，矩形內(nèi)環(huán)的長(zhǎng)度不大于所述待干燥基板的待干燥區(qū)的長(zhǎng)度，矩形內(nèi)環(huán)的寬度不大于所述待干燥區(qū)的寬度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷凝板，其特征在于，所述溶劑存放結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述本體用于朝向所述待干燥基板的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的冷凝板，其特征在于，所述本體包括中間區(qū)和環(huán)繞所述中間區(qū)的邊緣區(qū)，所述溶劑存放結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述邊緣區(qū)；或者，

所述溶劑存放結(jié)構(gòu)覆蓋所述本體用于朝向所述待干燥基板的整個(gè)表面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷凝板，其特征在于，所述環(huán)狀投影的環(huán)寬在1mm~100mm之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的冷凝板，其特征在于，所述溶劑存放結(jié)構(gòu)為具有多個(gè)吸附孔的膜層。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的冷凝板，其特征在于，所述具有多個(gè)吸附孔的膜層的材料包括硅樹脂材料、聚丙烯材料、含氟材料中的任意一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的冷凝板，其特征在于，所述本體內(nèi)設(shè)置有冷卻通道，用于容納冷卻劑。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項(xiàng)所述的冷凝板，其特征在于，所述溶劑用于蒸發(fā)后形成氣體，并朝向所述待干燥基板釋放包括：所述溶劑用于在真空環(huán)境下蒸發(fā)后形成氣體，并朝向所述待干燥基板釋放。

9.一種真空干燥設(shè)備，其特征在于，包括加熱板、真空腔室以及權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的冷凝板，所述冷凝板和所述加熱板均設(shè)置在所述真空腔室內(nèi)，所述加熱板與所述冷凝板相對(duì)設(shè)置，用于承載并加熱待干燥基板。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空干燥設(shè)備，其特征在于，所述真空干燥設(shè)備還包括溶劑供給裝置，所述溶劑供給裝置用于向所述溶劑存放結(jié)構(gòu)輸出溶劑。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的真空干燥設(shè)備，其特征在于，所述真空干燥設(shè)備還包括：

檢測(cè)裝置，用于檢測(cè)所述本體上凝結(jié)有溶劑的區(qū)域中單位面積內(nèi)的溶劑量；

控制裝置，用于根據(jù)所述檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)所述溶劑供給裝置的溶劑輸出量。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的真空干燥設(shè)備，其特征在于，所述溶劑供給裝置包括：

存儲(chǔ)容器，用于存儲(chǔ)溶劑；

輸出管路，與所述存儲(chǔ)容器連通，用于將所述存儲(chǔ)容器中的溶劑輸出至所述溶劑存放結(jié)構(gòu)；

調(diào)節(jié)閥，設(shè)置在所述輸出管路上，用于在所述控制裝置的控制下調(diào)節(jié)所述輸出管路的輸出流量。

13.一種利用權(quán)利要求9至12中任意一項(xiàng)所述的真空干燥設(shè)備進(jìn)行的真空干燥方法，其特征在于，包括在每次真空干燥時(shí)進(jìn)行的以下步驟：

將待干燥基板放置在所述加熱板上；

向所述溶劑存放結(jié)構(gòu)輸出溶劑；

加熱所述加熱板，以對(duì)所述待干燥基板上的墨水進(jìn)行干燥。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的真空干燥方法，其特征在于，當(dāng)所述真空干燥設(shè)備包括檢測(cè)裝置和控制裝置時(shí)；所述真空干燥方法還包括：

在每次真空干燥結(jié)束后，利用所述檢測(cè)裝置檢測(cè)所述本體上凝結(jié)有溶劑的區(qū)域中單位面積內(nèi)的溶劑量；

所述控制裝置根據(jù)所述檢測(cè)裝置的檢測(cè)結(jié)果調(diào)節(jié)下一次真空干燥時(shí)所述溶劑供給裝置的溶劑輸出量，以使得下一次真空干燥完成后，所述本體上凝結(jié)有溶劑的區(qū)域中，不同位置處的單位面積內(nèi)溶劑量之差不超過預(yù)設(shè)值。