[發明專利]垂直式探針及其制法和使用垂直式探針的探針頭與探針卡

有效

• 申請號: 201710523677.7
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN107796966B
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 許育禎;魏紹倫;范宏光
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

1.一種垂直式探針，具有一用于穿設于一上導板的針尾、一用于穿設于一下導板的一訊號穿孔并與所述訊號穿孔的一導電內壁接觸且用于點觸一待測物的針頭，以及一位于所述針尾與所述針頭之間的針身，所述訊號穿孔的導電內壁用于與所述下導板上的一訊號導體電性連接，使所述針頭通過所述導電內壁與所述下導板的訊號導體電性連接，所述訊號導體用于通過一導電連接件與一電路板或測試機電性連接，以在所述電路板或測試機與所述訊號導體之間傳輸一測試訊號；所述垂直式探針的特征在于：

所述垂直式探針包含有相互固定的一結構件、一絕緣層及一導電件，所述結構件包含有所述針尾及至少部分的所述針身，所述導電件包含有至少部分的所述針頭，所述絕緣層將所述導電件完全與所述結構件分隔開而使所述導電件與所述結構件相互絕緣。

2.如權利要求1所述的垂直式探針，其特征在于：所述結構件及所述導電件其中之一為一母構件，所述母構件具有一凹槽，所述結構件及所述導電件其中的另一為一公構件，所述公構件具有一本體，以及一自所述本體凸伸而出的凸塊，所述凸塊及所述絕緣層鑲嵌于所述凹槽內。

3.如權利要求2所述的垂直式探針，其特征在于：能定義出相互垂直的一縱軸及一橫軸，所述針頭點觸所述待測物時沿所述縱軸移動；所述凸塊具有一與所述本體連接的連接段，以及一與所述連接段連接的嵌卡段，至少部分的所述嵌卡段的平行于所述橫軸的寬度大于所述連接段的平行于所述橫軸的寬度。

4.如權利要求2所述的垂直式探針，其特征在于：所述絕緣層具有一位于所述凸塊與所述母構件之間的主區段，以及一自所述主區段延伸而出且位于所述本體與所述母構件之間的倒勾段。

5.如權利要求1所述的垂直式探針，其特征在于：還具有一位于所述針身與所述針頭之間的擋止部，所述絕緣層位于所述擋止部、所述針身鄰接于所述擋止部之處以及所述針頭三者其中之一。

6.如權利要求1所述的垂直式探針，其特征在于：所述絕緣層位于所述針頭且對應所述針頭的外輪廓形狀地延伸成U字形。

7.如權利要求6所述的垂直式探針，其特征在于：所述導電件體積占所述針頭體積的比例為小于2/3。

8.如權利要求1所述的垂直式探針，其特征在于：所述絕緣層呈波浪狀。

9.如權利要求1所述的垂直式探針，其特征在于：所述導電件的長度小于所述垂直式探針的長度的1/3。

10.一種垂直式探針，具有一用于穿設于一上導板的針尾、一用于穿設于一下導板的一訊號穿孔并與所述訊號穿孔之一導電內壁接觸且用于點觸一待測物的針頭，以及一位于所述針尾與所述針頭之間的針身，所述訊號穿孔的導電內壁用于與所述下導板上的一訊號導體電性連接，使所述針頭通過所述導電內壁與所述下導板的訊號導體電性連接，所述訊號導體用于通過一導電連接件與一電路板或測試機電性連接，以在所述電路板或測試機與所述訊號導體之間傳輸一測試訊號；所述垂直式探針的特征在于：

所述垂直式探針包含有相互固定的一結構件、一絕緣層及一導電件，所述結構件具有一針尾段、一針頭段以及連接所述針尾段與所述針頭段的針身段，所述絕緣層至少包覆所述結構件的針頭段，所述導電件為一包覆至少部分的所述絕緣層且用于接觸所述待測物的導電層，所述絕緣層將所述導電件完全與所述結構件分隔開而使所述導電件與所述結構件相互絕緣。

11.如權利要求1或10所述的垂直式探針，特征在于：能定義出一縱軸，所述針頭點觸所述待測物時沿所述縱軸移動，所述垂直式探針的平行于所述縱軸的長度為所述針頭的平行于所述縱軸的長度的3~6倍。

12.如權利要求1或10所述的垂直式探針，其特征在于：所述導電件的單位電阻值小于或等于所述結構件的單位電阻值。