[發明專利]一種鎳鐵鋅氧體鐵電薄膜存儲器及其制備方法

在審

• 申請號: 201710522810.7
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN107331664A
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 葛鵬祖;唐新桂;李蕊;劉秋香;蔣艷平
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: H01L27/11507
• 分類號: H01L27/11507
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 趙青朵

1.一種鎳鐵鋅氧體鐵電薄膜存儲器，包括依次接觸的基底、導電薄膜和鐵電薄膜，以及設置在所述導電薄膜上的底電極和設置在鐵電薄膜上的頂電極；

所述導電薄膜為LaNiO₃；

所述鐵電薄膜為Ni_0.5Zn_0.5Fe₂O₄。

2.根據權利要求1所述的鎳鋅鐵氧體鐵電薄膜存儲器，其特征在于，所述基底為Si、ITO導電玻璃、FTO導電玻璃、砷化鎵、Pt/Ti/SiO₂/Si襯底和SrTiO₃:Nb中的一種或幾種。

3.根據權利要求1所述的鎳鐵鋅氧體鐵電薄膜存儲器，其特征在于，所述底電極為Pt、Au、Ag、W、Al、Ti、TiN中的一種或幾種。

4.根據權利要求1所述的鎳鐵鋅氧體鐵電薄膜存儲器，其特征在于，所述頂電極為Pt、Au、Ag、W、Al、Ti、TiN中的一種或幾種。

5.一種鎳鐵鋅氧體鐵電薄膜存儲器的制備方法，包括以下步驟：

A)將LaNiO₃前驅液涂覆在基底表面，烘干得到鍍有導電薄膜的基底；所述LaNiO₃前驅液由La(NO₃)₃·5H₂O、NiC₄H₆O₄·4H₂O和乙二醇甲醚配制得到；

B)將Ni_0.5Zn_0.5Fe₂O₄前驅液涂覆在導電薄膜表面，烘干得到鍍有鐵電前驅膜的基底；

所述Ni_0.5Zn_0.5Fe₂O₄前驅液由NiC₄H₆O₄·4H₂O、ZnC₄H₆O₄·2H₂O、Fe(NO₃)₃·9H₂O、乙二醇甲醚和冰醋酸配制得到；

C)將鍍有鐵電前驅膜的基底在氧氣和/或氮氣的退火氣氛下、550～650℃下進行退火，得到鍍有鐵電薄膜的基底；

D)在步驟C)得到的鐵電薄膜的表面鍍頂電極；在導電薄膜表面鍍底電極，得到鎳鐵鋅氧體鐵電薄膜儲存器。

6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟A)中涂覆方法為旋涂工藝，具體過程為：

先以800～1500r/min的轉速旋轉10～15s，再以3000～4000r/min的轉速旋轉20～30s。

7.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟A)中烘干的過程具體為：

將涂覆有LaNiO₃前驅液的基底在170～190℃烘干10～30min，然后在320～380℃下烘干30～60min，得到鍍有導電薄膜的基底。

8.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述LaNiO₃前驅液的摩爾濃度為0.2～0.3mol/L；

所述Ni_0.5Zn_0.5Fe₂O₄前驅液的摩爾濃度為0.2～0.3mol/L。

9.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟B)中烘干的具體過程為：

將涂覆有Ni_0.5Zn_0.5Fe₂O₄前驅液的基底在170～190℃烘干10～30min，然后在320～380℃下烘干30～60min，得到鍍有導電薄膜的基底。

10.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述退火的時間為15～20min。