[發(fā)明專利]一種用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置及制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710520923.3
• 申請(qǐng)日: 2017-06-30
• 公開（公告）號(hào): CN109219165A
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李榮彬;陳增源;李莉華;吳文祥;孫春暉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 香港理工大學(xué)
• 主分類號(hào): H05B3/06
• 分類號(hào): H05B3/06;H05B3/14;G03F7/20
• 代理公司: 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 44217
• 代理人: 郭偉剛

1.一種用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置，其特征在于，包括：

基座(2)，所述基座(2)的上表面設(shè)置有連續(xù)彎曲凹槽；

石墨，所述石墨均勻涂滿于所述連續(xù)彎曲凹槽中，形成石墨涂層(1)；

基蓋(3)，所述基蓋(3)固定設(shè)置在所述基座(2)的上表面；以及

一至多個(gè)耐高溫絕緣夾緊裝置(7)，一至多個(gè)所述耐高溫絕緣夾緊裝置(7)分別設(shè)置在所述基座(2)和基蓋(3)的邊緣，并夾緊所述基座(2)和基蓋(3)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置，其特征在于，還包括第一導(dǎo)線(4)和第二導(dǎo)線(5)，所述第一導(dǎo)線(4)的一端與所述石墨涂層(1)的一端電性連接，所述第二導(dǎo)線(5)的一端與所述石墨涂層(1)的另一端電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置，其特征在于，還包括金屬電極(6)，所述第一導(dǎo)線(4)的另一端和第二導(dǎo)線(5)的另一端分別與所述金屬電極(6)的正極和負(fù)極相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置，其特征在于，所述基蓋(3)的上表面具有微納結(jié)構(gòu)，所述基座(2)和基蓋(3)分別由絕緣材料制成，絕緣材料包括石英或者陶瓷。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置，其特征在于，所述石墨涂層(1)的寬度與相鄰間隙的寬度比例介于0.5和2。

6.一種用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置的制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1：在基座(2)的上表面加工出均勻且分散布滿于上表面的連續(xù)彎曲凹槽；

S2：將石墨均勻涂滿于所述連續(xù)彎曲凹槽中，形成石墨涂層(1)；

S3：對(duì)石墨涂層(1)進(jìn)行預(yù)熱處理，對(duì)石墨涂層(1)進(jìn)行緩慢的加熱，通過(guò)石墨涂層(1)受熱而產(chǎn)生的氣泡去除石墨涂層(1)中的水分；

S4：對(duì)所述石墨涂層(1)進(jìn)行通電加熱，使石墨涂層(1)的溫度升高，并通過(guò)熱傳導(dǎo)將熱量從所述石墨涂層(1)傳給所述基座(2)，使所述石墨涂層(1)和基座(2)逐漸達(dá)到溫度相對(duì)平衡狀態(tài)，不因受熱不均而產(chǎn)生應(yīng)力并破碎。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置的制造方法，其特征在于，步驟S1采用光刻工藝對(duì)基座(2)的上表面進(jìn)行加工，還包括以下子步驟：

S11：將感光膠均勻且分散涂覆于在基座(2)的上表面；

S12：在感光膠上蓋上底片進(jìn)行曝光；

S13：洗去感光膠，形成所述連續(xù)彎曲凹槽。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于熱壓印的石墨涂層曲線加熱裝置的制造方法，其特征在于，還包括以下步驟：

S5：在所述基座(2)和基蓋(3)的邊緣設(shè)置一至多個(gè)耐高溫絕緣夾緊裝置(7)，從而夾緊所述基座(2)和基蓋(3)；

S6：在所述石墨涂層(1)的兩端分別電性連接第一導(dǎo)線(4)和第二導(dǎo)線(5)；

S7：第一導(dǎo)線(4)另一端和第二導(dǎo)線(5)另一端分別電性連接于所述金屬電極(6)的正極和負(fù)極。