[發明專利]光學元件運動學支撐裝置、投影物鏡和光刻機

有效

• 申請號: 201710519516.0
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN107145040B
• 公開（公告）日: 2019-04-02
• 發明（設計）人: 張德福;倪明陽;李顯凌;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，包括：鏡框，三組支撐腳，沿著所述鏡框的圓周方向分別安裝于所述鏡框上，每組支撐腳約束兩個自由度的位移；其中，所述光學元件固定于所述支撐腳內，所述支撐腳約束所述光學元件；所述支撐腳包括固定端、第一Y向柔性板簧、第二Y向柔性板簧、第一交叉柔性板簧、支撐點、第二交叉柔性板簧。

2.根據權利要求1所述的光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，所述的鏡框為回轉對稱形結構，通過三組支撐腳接口分別固定連接所述三組支撐腳上。

3.根據權利要求1或2所述的光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，建立所述支撐腳的局部坐標系，將平行于投影物鏡光軸的方向作為Z軸方向，將垂直于Z軸且平行于投影物鏡徑向的方向作為X軸方向，將垂直X軸和Z軸的方向作為Y軸方向，構成三維直角坐標系作為支撐腳的局部坐標系，其中，所述支撐點通過所述第二Y向柔性板簧連接所述第一交叉柔性板簧和所述第二交叉柔性板簧，所述支撐點可繞著Y軸的轉動。

4.根據權利要求3所述的光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，所述第一交叉柔性板簧和所述第二交叉柔性板簧關于X軸對稱，所述第一交叉柔性板簧和所述第二交叉柔性板簧的上端通過所述第一Y向柔性板簧連接固定端，其中，所述第一Y向柔性板簧和所述第二Y向柔性板簧組成復合鉸鏈，所述支撐點可沿著X軸移動和繞著Z軸旋轉。

5.根據權利要求1所述的光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，所述鏡框以外圓柱面為安裝基準面，鏡框同軸安裝固定到投影物鏡的內壁，將光學元件運動學支撐裝置整體固定安裝在投影物鏡的內壁，并利用光學元件運動學支撐裝置約束光學元件在投影物鏡光學系統中的面形。

6.根據權利要求1所述的光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，所述支撐腳為分體式結構。

7.根據權利要求1所述的光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，所述鏡框下表面為安裝基準面，所述鏡框下表面還設有用于連接其他鏡框的鏡框間級聯接口。

8.根據權利要求2所述的光學元件運動學支撐裝置，其特征在于，

所述三組支撐腳接口中相鄰兩個之間的分布角度相等或不等。

9.一種投影物鏡，其特征在于，所述投影物鏡具有如權利要求1-8中任一項所述的光學元件運動學支撐裝置。

10.一種光刻機，其特征在于，具有如權利要求9所述的投影物鏡。