[發(fā)明專利]一種紅外傳感器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710516641.6
• 申請(qǐng)日: 2017-06-29
• 公開（公告）號(hào): CN107331605B
• 公開（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 康曉旭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海集成電路研發(fā)中心有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/266
• 分類號(hào): H01L21/266;H01L27/146
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

1.一種紅外傳感器，其特征在于，包括：

一襯底，襯底上具有敏感層；

在所述敏感層側(cè)壁和頂部覆蓋有電極層圖案；

所述敏感層頂部與電極層圖案底部相接觸的表層具有摻雜敏感層，所述摻雜敏感層頂部和電極層圖案的底部還具有金屬化摻雜敏感層；通過離子轟擊敏感層表面，轟擊的離子進(jìn)入敏感層中，從而得到摻雜敏感層；同時(shí)，電極層圖案的金屬被注入離子轟擊進(jìn)入敏感層頂部表層中，從而在摻雜敏感層頂部形成金屬化摻雜敏感層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外傳感器，其特征在于，所述離子轟擊采用的離子為P型離子。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外傳感器，其特征在于，所述P型離子源為含B的離子。

4.一種紅外傳感器的制備方法，其特征在于，包括：

步驟01：提供表面具有敏感層的襯底；

步驟02：在敏感層上形成電極層圖案；電極層圖案底部暴露出敏感層頂部表面；

步驟03：在暴露的敏感層頂部表面形成掩膜；

步驟04：采用離子注入工藝轟擊敏感層頂部的電極層圖案，注入電極層圖案的離子透過電極層圖案進(jìn)入敏感層頂部表層中，同時(shí)，電極層圖案的金屬被注入離子轟擊進(jìn)入敏感層頂部表層中，從而在與電極層圖案底部相接觸的敏感層頂部表層中形成摻雜敏感層，在摻雜敏感層頂部形成金屬化摻雜敏感層；

步驟05：去除掩膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述步驟04中，采用P型離子源進(jìn)行離子注入。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述P型離子源為含B的離子。