[發(fā)明專利]稀土金屬摻雜石英玻璃及其生產(chǎn)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710507245.7
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN107540201B
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: H.拜埃爾;S.格里姆;K.舒斯特;J.德利特;A.朗格納;G.舍茨;W.萊曼;T.凱澤
• 申請（專利權(quán)）人: 賀利氏石英玻璃股份有限兩合公司
• 主分類號: C03B32/00
• 分類號: C03B32/00;C03C23/00;C03B37/012;C03C3/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 石克虎;楊思捷

1.生產(chǎn)稀土金屬摻雜石英玻璃的方法，所述方法包括以下方法步驟：

(a)提供稀土金屬摻雜石英玻璃的坯料，和

(b)通過在加熱區(qū)中逐區(qū)地軟化所述坯料和通過沿旋轉(zhuǎn)軸線扭轉(zhuǎn)被軟化的區(qū)域來均化所述坯料，

其特征在于在根據(jù)方法步驟(b)的均化過程中，在起氧化作用的等離子體或中性等離子體的作用下軟化所述坯料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其特征在于將含氧氣體供應(yīng)至所述等離子體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2之一的方法，其特征在于生成微波常壓等離子體或電感耦合等離子體。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2之一的方法，其特征在于將不含氫或含氫化合物的等離子氣體供應(yīng)至所述等離子體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2之一的方法，其特征在于所述坯料的均化包括兩個均化步驟，其中在兩個相互垂直的方向上扭轉(zhuǎn)所述坯料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2之一的方法，其特征在于生成稀土金屬摻雜石英玻璃，其包含濃度為0.002-10摩爾%的稀土金屬氧化物并且具有小于10%的基于相對于未摻雜的石英玻璃的平均折射率差?n的折射率波動δ?n，并且具有由TBCS值表示的小于10的氣泡含量，其中TBCS值表示基于100cm³的單位體積的樣品中的所有氣泡的總橫截面積，以mm²表示；其中該值通過氣泡的視覺檢測和氣泡橫截面的加和測定，其中不包括直徑小于0.08mm的氣泡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2之一的方法，其特征在于生成具有300-3000重量ppm的平均氯含量的稀土金屬摻雜石英玻璃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項的方法制備的稀土金屬摻雜石英玻璃，其包含濃度為0.002-10摩爾%的稀土金屬氧化物，其特征在于它具有小于10%的基于相對于未摻雜的石英玻璃的平均折射率差?n的折射率波動δ?n，并且它具有由TBCS值表示的小于10的氣泡含量，其中TBCS值表示基于100cm³的單位體積的樣品中的所有氣泡的總橫截面積，以mm²表示；其中該值通過氣泡的視覺檢測和氣泡橫截面的加和測定，其中不包括直徑小于0.08mm的氣泡，其中所述石英玻璃具有300-3000重量ppm的平均氯含量。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的稀土金屬摻雜石英玻璃，其特征在于所述石英玻璃具有0.1-100重量ppm的平均羥基含量。