[發明專利]模具、壓印方法、壓印裝置和用于制造半導體制品的方法

在審

• 申請號: 201710506145.2
• 申請日: 2017-06-28
• 公開（公告）號: CN107561855A
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發明（設計）人: 筱田健一郎
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司11293
• 代理人: 遲軍

1.一種用于壓印裝置的模具，所述模具包括：

形成有圖案的圖案部分；和

圍繞圖案部分的周邊部分，

其中，周邊部分配設有遮光部分，該遮光部分阻擋用于固化壓印材料的固化光并使用于對檢測目標進行檢測的檢測光透射。

2.根據權利要求1所述的模具，其中，遮光部分針對對應于固化光的波長帶寬具有大于等于0％且小于等于1％的透射率，而針對對應于檢測光的波長帶寬具有大于等于10％且小于等于100％的透射率。

3.根據權利要求1所述的模具，其中，遮光部分被配設在與形成有圖案部分的表面相對的表面上。

4.根據權利要求1所述的模具，其中，遮光部分被配設在形成有圖案部分的表面上。

5.根據權利要求1所述的模具，其中，遮光部分被配設在與形成有圖案部分的表面相對的表面和形成有圖案部分的表面上。

6.根據權利要求1所述的模具，其中，遮光部分包括配設在模具的表面上的遮光膜。

7.根據權利要求1所述的模具，

其中，遮光部分是附裝到模具的遮光構件，并且

其中，遮光構件通過在使固化光透射的構件的表面上附裝阻擋固化光并使檢測光透射的遮光膜而獲得。

8.根據權利要求1所述的模具，其中，遮光部分包括，含有CrN的遮光膜。

9.根據權利要求1所述的模具，其中，遮光部分包括，由電介質多層膜形成的遮光膜。

10.根據權利要求1所述的模具，其中，檢測目標包括，壓印裝置的基準標記。

11.根據權利要求1所述的模具，其中，檢測目標包括，被供給在基板上的壓印材料。

12.根據權利要求1所述的模具，其中，當使模具的圖案部分與基板上的壓印材料接觸時，遮光部分在與周邊部分相對應的區域使用于檢測壓印材料的檢測光透射。

13.根據權利要求1至10中的任一項所述的模具，其中，遮光部分阻擋作為固化光的紫外光，并且使作為檢測光的可見光或紅外光透射。

14.一種壓印方法，該壓印方法用于通過使用包括形成有圖案的圖案部分和圍繞圖案部分的周邊部分的模具而在被供給在基板上的壓印材料上形成圖案，所述周邊部分配設有遮光部分，所述壓印方法包括：

將模具和基板相互對準；以及

使模具與壓印材料接觸并固化壓印材料，

其中，遮光部分阻擋用于固化壓印材料的固化光，并使用于對檢測目標進行檢測的檢測光透射。

15.一種壓印裝置，其被構造為通過使用模具在基板上形成壓印材料的圖案，

其中，模具包括形成有要轉印到壓印材料上的圖案的圖案部分和圍繞圖案部分的周邊部分，并且

其中，周邊部分配設有遮光部分，該遮光部分阻擋用于固化壓印材料的固化光并使用于對檢測目標進行檢測的檢測光透射。

16.一種用于制造制品的方法，所述方法包括：

通過根據權利要求14所述的壓印方法在基板上形成壓印材料的圖案；以及

對在所述形成中已經形成有圖案的基板進行處理。