[發明專利]漸變折射率薄膜制備參數獲取方法、制備方法及濾光片

有效

• 申請號: 201710498955.8
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN107132604B
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發明（設計）人: 衛耀偉;劉浩;蔡清元;王震;潘峰;張哲;劉志超;吳倩;羅晉;歐陽升
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28
• 代理公司: 11371 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 王寧寧

本發明提供了一種漸變折射率薄膜制備參數獲取方法、制備方法及濾光片，屬于薄膜制備工藝技術領域。所述制備參數獲取方法包括：獲取待制備的漸變折射率薄膜的制備數據，其中，所述制備數據包括所述漸變折射率薄膜的每個膜層的折射率和膜層厚度；獲取基準對應關系，所述基準對應關系為混合膜層的折射率與膜層濃度之間的關系；根據所述基準對應關系以及所述制備數據，得到所述漸變折射率薄膜的制備參數。通過本方法有利于較準確地得到待制備的漸變折射率薄膜的制備參數，從而制備出性能更符合需求的漸變折射率薄膜以及濾光片。

技術領域

本發明涉及薄膜制備工藝技術領域，具體而言，涉及一種漸變折射率薄膜制備參數獲取方法、制備方法及濾光片。

背景技術

皺褶(Rugate)濾光片，指的是折射率有規則的周期變化的結構，通過這種周期性的變化可以實現特殊的光學性能，例如具有僅反射一窄帶光譜區域，而透過所有其他波段的性質。該性質類似于1/4波堆，且沒有1/4波堆的高級次反射帶，特別適合于在弱的連續光譜背景中除去亮的光譜線，比如激光光譜線，因此在諸如激光防護等領域有重要的應用。

然而，目前漸變折射率薄膜的制備核心技術仍然掌握在國外，無法獲知，因此為了打破這種壟斷，迫切需要一種能夠制備漸變折射率薄膜的方法。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種漸變折射率薄膜制備參數獲取方法、制備方法及濾光片，以實現漸變折射率薄膜的制備。

為了實現上述目的，本發明實施例采用的技術方案如下：

第一方面，本發明實施例提供了一種漸變折射率薄膜的制備參數獲取方法，所述方法包括：獲取待制備的漸變折射率薄膜的制備數據，其中，所述制備數據包括所述漸變折射率薄膜的每個膜層的折射率和膜層厚度；獲取基準對應關系，所述基準對應關系為混合膜層的折射率與膜層濃度之間的關系，其中，所述混合膜層包括第一子膜層和第二子膜層，所述第一子膜層對應的第一膜層材料的第一折射率大于所述第二子膜層對應的第二膜層材料的第二折射率，所述膜層濃度為所述混合膜層中所述第一子膜層的膜層濃度或所述第二子膜層的膜層濃度；根據所述基準對應關系以及所述制備數據，得到所述漸變折射率薄膜的制備參數。

第二方面，本發明實施例還提供了一種漸變折射率薄膜的制備方法，所述方法包括：通過原子層沉積技術，按照上述漸變折射率薄膜的制備參數獲取方法得到的制備參數，以第一膜層材料對應的前驅體以及第二膜層材料對應的前驅體為原料，在預設的基底上依次沉積多個膜層，得到漸變折射率薄膜，其中，每個膜層對應于一個折射率。

第三方面，本發明實施例還提供了一種濾光片，包括基片以及根據上述制備方法制備的漸變折射率薄膜，所述漸變折射率薄膜附著在所述基片上。

相比于現有技術，本發明實施例提供的漸變折射率薄膜的制備參數獲取方法，通過獲取待制備的漸變折射率薄膜的制備數據以及基準對應關系，然后根據所獲取的制備數據以及基準對應關系，得到該漸變折射率薄膜的制備參數。本方案有利于較準確地得到待制備的漸變折射率薄膜的制備參數，從而制備出性能更符合需求的漸變折射率薄膜以及濾光片。

為使本發明的上述目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應當理解，以下附圖僅示出了本發明的某些實施例，因此不應被看作是對范圍的限定，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他相關的附圖。

圖1示出了本發明實施例提供的一種電子設備的方框示意圖；

圖2示出了本發明第一實施例提供的一種漸變折射率薄膜制備參數獲取方法的方法流程圖；