[發(fā)明專利]研磨裝置、研磨方法、及研磨控制程序

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710498753.3
• 申請日: 2017-06-27
• 公開（公告）號: CN107538338A
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中村顯
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B24B37/005
• 分類號: B24B37/005;B24B37/34;H01L21/304;B24B49/04
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所11256
• 代理人: 陳偉,沈靜

1.一種研磨裝置，對研磨對象物進(jìn)行研磨，其特征在于，具有：

研磨部，其進(jìn)行所述研磨對象物的研磨；

測定部，其在多個測定時刻測定能夠根據(jù)所述研磨對象物的膜厚變化而變化的物理量；

膜厚算出部，其根據(jù)所述測定部所測定出的所述物理量，算出所述測定時刻下的與所述研磨對象物的膜厚相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)；及

膜厚預(yù)測部，其使用被算出的所述數(shù)據(jù)，針對所述測定時刻中的至少一部分的測定時刻，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述膜厚預(yù)測部使用被算出的所述數(shù)據(jù)，針對所述測定時刻中的至少一部分的測定時刻，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)的變化量，并使用被預(yù)測出的所述變化量，來預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)。

3.如權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，所述膜厚預(yù)測部使用被算出的所述數(shù)據(jù)算出研磨率，并使用被算出的所述研磨率來預(yù)測所述變化量。

4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的研磨裝置，其特征在于，從所述測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后是指，在所述測定時刻由所述測定部測定出所述物理量之后，所述膜厚算出部根據(jù)該物理量，對所述研磨對象物的所述數(shù)據(jù)的算出能夠結(jié)束之時。

5.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的研磨裝置，其特征在于，從所述測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后是指，在所述測定時刻由所述測定部測定出所述物理量之后，所述膜厚預(yù)測部使用被算出的所述數(shù)據(jù)，對所述數(shù)據(jù)的預(yù)測能夠結(jié)束之時。

6.一種研磨方法，對研磨對象物進(jìn)行研磨，其特征在于，具有以下步驟：

研磨步驟，進(jìn)行所述研磨對象物的研磨；

測定步驟，在多個測定時刻，測定能夠根據(jù)所述研磨對象物的膜厚變化而變化的物理量；

膜厚算出步驟，根據(jù)在所述測定步驟中所測定出的所述物理量，算出所述測定時刻下的與所述研磨對象物的膜厚相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)；及

膜厚預(yù)測步驟，使用被算出的所述數(shù)據(jù)，針對所述測定時刻中的至少一部分的測定時刻，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)。

7.如權(quán)利要求6所述的研磨方法，其特征在于，在所述膜厚預(yù)測步驟中，使用被算出的所述數(shù)據(jù)，針對所述測定時刻中的至少一部分的測定時刻，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)的變化量，并使用被預(yù)測出的所述變化量，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)。

8.一種研磨控制程序，使用于對研磨對象物進(jìn)行研磨的研磨裝置的控制，該研磨裝置具有在多個測定時刻測定能夠根據(jù)研磨對象物的膜厚變化而變化的物理量的測定部，所述研磨控制程序的特征在于，

使計算機作為以下部分來發(fā)揮功能：

膜厚算出部，其根據(jù)所述測定部所測定出的所述物理量，算出所述測定時刻下的與所述研磨對象物的膜厚相當(dāng)?shù)臄?shù)據(jù)；及

膜厚預(yù)測部，其使用被算出的所述數(shù)據(jù)，針對所述測定時刻中的至少一部分的測定時刻，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)。

9.如權(quán)利要求8所述的研磨控制程序，其特征在于，所述膜厚預(yù)測部使用被算出的所述數(shù)據(jù)，針對所述測定時刻中的至少一部分的測定時刻，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)的變化量，并使用被預(yù)測出的所述變化量，預(yù)測從該測定時刻經(jīng)過所述處理延遲時間之后的所述數(shù)據(jù)。