[發明專利]一種WAT測試數據自動分析方法

在審

• 申請號: 201710496347.3
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN107329848A
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發明（設計）人: 蓋如坤;莫保章
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F11/07
• 分類號: G06F11/07
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237
• 代理人: 智云

技術領域

本發明涉及半導體集成電路制造領域，尤其涉及WAT測試領域中的一種WAT測試數據自動分析方法。

背景技術

隨著技術的進步，集成電路制造工藝要求日益提高，且由于集成電路制造周期長，成本高，因此，提高制造工藝的制造效率及質量尤為重要。

在產品的制造過程中，需要經過上百道工藝步驟，晶圓可接受性測試(Wafer Acceptance Test，簡稱：WAT)作為芯片質量的檢測工藝扮演著重要的角色，晶圓可接受性測試包括多種測試項目，且為芯片制作中不可或缺的步驟。通常所說的WAT測試參數是指，對這些元件進行電性能測量所得到的電性參數數據，例如連結性測試、閥值電壓、漏極飽和電流等。

晶圓可接受性測試(Wafer Acceptance Test，簡稱：WAT)測試后的數據會自動傳輸到統計過程控制(SPC)系統中，這個系統能夠有效的判斷WAT測試各參數各測試點的數據是否在規格內，也可以將超出規格的數據突出的展現給用戶。目前WAT測試數據的判斷有非常多的規格，其中報告SPC系統中判定的一種，還有參數超出規格比例的計算、各片晶圓規格的計算等等，而SPC系統無法計算越來越多的測試規格，只能依靠相關工程師人工查看數據并判斷晶圓批次(Lot)是否滿足出貨的要求，出貨的每個Lot都需要相關工程師查看數據并給出結果，給工程師增加的工作量非常大，并可能出現計算錯誤，需要更多的人工去重復檢查是否有錯誤，將占用更多的人力和時間。

目前WAT測試后的數據可在SPC系統中判斷出WAT測試各參數各測試點的數據是否在規格內，也可以將超出規格的數據突出的展現給用戶。而對于由WAT測試設備問題或者制程工藝引起的測試參數異常，SPC系統無法進行統計和分析，只能依靠相關工程師人工查看每筆數據，并分析判斷是否是由WAT測試或者制程工藝引起的，工程師的工作量很大，并容易忽略規律并不明顯的參數問題，從而不能及時發現并解決問題，增加這類問題影響的產品數量。

發明內容

本發明提出一種WAT測試數據自動分析方法，可以從大量的WAT測試數據中發現規律性問題，從而找出WAT測試設備或者制程工藝的缺陷問題。具體是根據設定的規則進行數據的統計分析，可以實現對產品的各參數的失敗次數和頻率進行監督。當統計結果達到設定規格時，系統會以郵件形式提醒相關工程師。

為了達到上述目的，本發明提出一種WAT測試數據自動分析方法，包括下列步驟：

有新產品時，根據客戶要求建立此產品的所有參數規格；

按需要定義該產品參數的監測規則和對應規格，以及生成報告的形式；

當該產品的晶圓批次完成WAT測試后，判斷各參數通過還是失敗，將失敗參數的各項信息進行統計和分析；

根據定義的監測規則和對應規格，當統計結果超過對應規格時，將結果生成報告并發送。

進一步的，所述失敗參數的信息包括：測試時間，失敗頻率，晶圓批次信息，測試機臺與探針卡信息，失敗位置。

進一步的，所述統計結果生成報告采用圖表的形式。

進一步的，所述統計結果生成報告通過郵件發送給設定的工程師郵箱。

進一步的，所述統計結果生成報告將失敗參數信息進行高亮標注顯示。

本發明提出的WAT測試數據自動分析方法，可以將各產品的測試結果統計以圖表報告的形式展現給工程師，其中可以顯示各產品的各參數失敗的累計信息，如lot ID、失敗次數、測試時間、測試機臺、測試所用探針卡等，達到工程師可以一目了然的目的，減少工程師的工作量，并避免了人工統計的疏漏；同時系統也可將統計分析的以郵件發送給工程師，使工程師可以及時發現并能處理問題。

附圖說明

圖1所示為本發明較佳實施例的WAT測試數據自動分析方法流程圖。

具體實施方式

以下結合附圖給出本發明的具體實施方式，但本發明不限于以下的實施方式。根據下面說明和權利要求書，本發明的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用于方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。

請參考圖1，圖1所示為本發明較佳實施例的WAT測試數據自動分析方法流程圖。本發明提出一種WAT測試數據自動分析方法，包括下列步驟：

步驟S100：有新產品時，根據客戶要求建立此產品的所有參數規格；

步驟S200：按需要定義該產品參數的監測規則和對應規格，以及生成報告的形式；