[發(fā)明專利]燈絲、電離室及離子植入設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710495834.8
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN107331596A
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝銳
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

本發(fā)明公布了一種燈絲，所述燈絲包括第一端部、第二端部及位于所述第一端部與所述第二端部之間的連接部，所述第一端部和所述第二端部用于電連接至供電器件，所述第一端部通過所述連接部相對所述第二端部彎折，并且彎折的所述連接部的截面尺寸與所述第一端部及所述第二端部的截面尺寸相同。本發(fā)明還公布了一種電離室及離子植入設(shè)備。燈絲截面尺寸均勻，燈絲各部位的阻值相同，燈絲通電后各部位產(chǎn)生的熱電子數(shù)量相同，熱電子與離子源氣體撞擊產(chǎn)生等離子體，燈絲周圍的等離子體濃度均勻，避免出現(xiàn)燈絲某部位附近等離子體濃度過高腐蝕燈絲，燈絲不易斷裂，提高了燈絲的壽命，降低了離子植入設(shè)備的維護成本和顯示設(shè)備的生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示器件制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種燈絲、電離室及離子植入設(shè)備。

背景技術(shù)

顯示設(shè)備已成為人們現(xiàn)代生活中的不可缺少的一部分，在顯示設(shè)備的低溫多晶硅(Low Temperature Poly-silicon，LTPS)薄膜晶體管和有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)的制程中，需要使用離子植入設(shè)備將等離子體植入到玻璃基板。在離子植入設(shè)備中，離子源氣體通過送氣管均勻的進入電離室，電離室內(nèi)的燈絲通入電流后產(chǎn)生熱電子，熱電子與離子源氣體發(fā)生碰撞形成等離子體。

現(xiàn)有技術(shù)中，離子植入設(shè)備中的燈絲需要經(jīng)過多次彎曲形成特定的形狀，燈絲在彎曲點位置截面積會變小，導(dǎo)致彎折點的燈絲阻值大于未彎折部分，向燈絲通入電流后產(chǎn)生熱電子，進入電離室內(nèi)的離子源氣體與熱電子撞擊產(chǎn)生等離子體，由于燈絲阻值大的部分會產(chǎn)生較多熱電子，更多的熱電子與離子源氣體撞擊產(chǎn)生更多的等離子體，導(dǎo)致燈絲的彎折點附近的等離子體濃度更高，燈絲附近的等離子體濃度不均勻，較高的等離子體濃度更易腐蝕燈絲，從而燈絲在長時間使用后更易在彎折點附近斷裂，縮短了燈絲的壽命，提高了離子植入設(shè)備的維護成本和顯示設(shè)備的生產(chǎn)成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種燈絲、電離室及離子植入設(shè)備，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中燈絲在長時間使用后更易在彎折點附近斷裂，燈絲的壽命短，離子植入設(shè)備的維護成本和顯示設(shè)備的生產(chǎn)成本高的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種燈絲，應(yīng)用于離子植入設(shè)備，所述燈絲包括第一端部、第二端部及位于所述第一端部與所述第二端部之間的連接部，所述第一端部和所述第二端部用于電連接至供電器件，所述第一端部通過所述連接部相對所述第二端部彎折，并且彎折的所述連接部的截面尺寸與所述第一端部及所述第二端部的截面尺寸相同。

進一步，所述連接部包括主體部與凸起部，所述主體部連接于所述第一端部與所述第二端部之間，并且所述主體部的截面尺寸與所述第一端部及所述第二端部的截面尺寸相同，所述凸起部凸設(shè)于所述主體部的截面尺寸方向的表面上，以使彎折前的所述連接部的截面尺寸大于所述第一端部及所述第二端部的截面尺寸，彎折后的所述連接部的截面尺寸等于所述第一端部及所述第二端部的截面尺寸。

進一步，所述凸起部包括第一端、第二端及位于所述第一端與所述第二端之間的第三端，所述第一端凸設(shè)于所述主體部連接所述第一端部的一端，所述第二端凸設(shè)于所述主體部連接所述第二端部的一端，彎折前所述第一端至所述第三端的截面尺寸均勻增大，所述第二端至所述第三端的截面尺寸均勻增大，以使彎折后的所述連接部的截面尺寸均勻。

進一步，彎折后的所述連接部的弧度不小于π，以使所述第一端部與所述第二端部的距離不大于所述連接部的彎折直徑。

進一步，所述第一端部、所述連接部及所述第二端部依次相連形成彎折單元，所述燈絲包括多個所述燈絲單元，每個所述燈絲單元的所述第一端部固定連接相鄰的所述燈絲單元的所述第二端部，每個所述燈絲單元的所述第二端部固定連接相鄰的所述燈絲單元的所述第一端部。

進一步，相鄰的兩個所述燈絲單元的連接部的彎折方向相反。

進一步，所述第一端部、所述第二端部及所述連接部一體成型。