[發(fā)明專利]F-theta物鏡有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710494671.1 | 申請日： | 2017-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN107561668B | 公開（公告）日： | 2021-07-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蒂姆·巴爾德希芬;本德·塞赫;于爾根·魏澤;喬治·文德利希 | 申請（專利權(quán)）人： | 業(yè)納光學(xué)系統(tǒng)有限公司 |
| 主分類號： | G02B13/00 | 分類號： | G02B13/00;G02B7/02;G02B19/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 31002 | 代理人： | 鄧琪 |
| 地址： | 德國耶拿市0*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | theta 物鏡 | ||
1.一種F-theta物鏡(1)，用于聚焦高功率激光，包括：
第一光學(xué)組件，所述第一光學(xué)組件安裝在第一物鏡殼體(2)中并且包括至少一個第一透鏡(4)，其中，所述第一透鏡(4)至少具有第一表面(4A)和第二表面(4B)；以及
第二光學(xué)組件，所述第二光學(xué)組件安裝在第二物鏡殼體(3)中并且包括至少一個透鏡(6，7)，其中，所述第一物鏡殼體和所述第二物鏡殼體在連接區(qū)域(V)中彼此連接，并且其中，直接鄰近于所述連接區(qū)域的所述第一物鏡殼體中的那個透鏡為所述第一透鏡(4)；其特征在于：
在所述第一物鏡殼體(2)與所述第二物鏡殼體(3)之間安裝有一裝置以改變所述第一物鏡殼體(2)與所述第二物鏡殼體(3)之間的軸向距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的F-theta物鏡(1)，其特征在于，所述第一透鏡(4)為新月形透鏡形式，所述新月形透鏡具有作為所述第一表面(4A)的凹形表面以及作為所述第二表面(4B)的凸形表面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的F-theta物鏡(1)，其特征在于，所述第一透鏡(4)為平凸透鏡或平凹透鏡形式。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的F-theta物鏡(1)，其特征在于，所述第一物鏡殼體和所述第二物鏡殼體可拆卸地連接至彼此，具體為螺接在一起。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的F-theta物鏡(1)，其特征在于，存在裝置(80)以便在第一位置以及至少一個第二位置中將所述第一物鏡殼體(2)連接至所述第二物鏡殼體(3)，所述至少一個第二位置與所述第一位置在方位角上不同。
6.一種用于激光材料加工的安排，其中，所述安排具有以下特征：
激光束源，所述激光束源用于發(fā)射光束(L)；以及
根據(jù)以上權(quán)利要求之一所述的用于將所述光束(L)聚焦到加工平面(BE)上的F-theta物鏡。
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