[發明專利]微流泵浦結構、系統及制作方法

在審

• 申請號: 201710494448.7
• 申請日: 2017-06-26
• 公開（公告）號: CN107339228A
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 李江龍;郝紅蕾
• 申請（專利權）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;B81B3/00;B81C1/00
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所11323
• 代理人: 權鮮枝,吳昊

1.一種微流泵浦結構，其特征在于，包括泵腔，設置在所述泵腔中的動力膜片(30)，以及驅動所述動力膜片(30)在所述泵腔中運動的驅動裝置；

所述動力膜片(30)將所述泵腔分割為第一腔室(10)和第二腔室(20)；所述第一腔室(10)具有用于與外部連通的第一通道(11)，所述第二腔室(20)具有用于與外部連通的第二通道(21)，所述動力膜片(30)上具有由所述第一腔室(10)向第二腔室(20)單向打開的第三通道。

2.根據權利要求1所述的微流泵浦結構，其特征在于，

所述動力膜片(30)為壓電材料，所述驅動裝置為施加于所述動力膜片(30)上的交流電源(52)。

3.根據權利要求1所述的微流泵浦結構，其特征在于，

所述微流泵浦結構還包括設置在所述泵腔兩側并與所述動力膜片(30)相對的兩個導電極板，所述動力膜片(30)為導體；

所述驅動裝置包括施加于所述兩個導電極板和所述動力膜片(30)之一上的直流電源(51)，以及施加于所述兩個導電極板和所述動力膜片(30)另一上的交流電源(52)。

4.根據權利要求3所述的微流泵浦結構，其特征在于，

所述兩個導電極板形成所述泵腔的兩個側壁。

5.根據權利要求1所述的微流泵浦結構，其特征在于，

所述動力膜片(30)上具有鐵磁材料或磁性材料，所述驅動裝置為設置在所述泵腔外部的電磁鐵。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的微流泵浦結構，其特征在于，

所述第一通道(11)和/或所述第二通道(21)中設置有單向閥。

7.根據權利要求1至5中任一項所述的微流泵浦結構，其特征在于，

所述動力膜片(30)上具有第三通道孔(31)和位于所述第二腔室(20)側以單向打開所述第三通道孔(31)的單向瓣膜(32)。

8.一種微流泵浦系統，其特征在于，包括至少兩個權利要求1至7中任一項所述的微流泵浦結構，所述至少兩個微流泵浦結構通過管道串聯、并聯或者串并聯混合的方式連接。

9.一種微流泵浦結構的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在基底上淀積第一極板(41)；

在所述第一極板(41)上淀積并刻蝕形成第一腔室(10)；

在所述第一腔室(10)內填充犧牲層物質；

在填充犧牲層物質的所述第一腔室(10)上淀積并刻蝕形成動力膜片(30)；

在所述動力膜片(30)上淀積并刻蝕形成第二腔室(20)；

在所述第二腔室(20)內填充犧牲層物質；

在填充犧牲層物質的所述第二腔室(20)上淀積第二極板(42)；

去除第一腔室(10)和第二腔室(20)內部的犧牲層物質。

10.根據權利要求9所述的微流泵浦結構的制作方法，其特征在于，在填充犧牲層物質的所述第一腔室(10)上淀積并刻蝕形成動力膜片(30)包括：

淀積動力膜片層，并刻蝕形成第三通道孔(31)；

淀積單向瓣膜層，并刻蝕去除多余部分形成單向瓣膜(32)。