[發(fā)明專利]一種硅基激光器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710488683.3
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN108110605B
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 隋少帥
• 申請（專利權(quán)）人: 青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01S5/02
• 分類號: H01S5/02;H01S5/10
• 代理公司: 北京睿博行遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11297
• 代理人: 龔家驊

1.一種硅基激光器，其特征在于，包括，硅襯底、半導(dǎo)體出光芯片，

所述硅襯底表面形成有環(huán)形閉口硅波導(dǎo)、連接硅波導(dǎo)、環(huán)形開口硅波導(dǎo)及輸出硅波導(dǎo)；

所述連接硅波導(dǎo)一端與所述環(huán)形閉口硅波導(dǎo)連接，另一端與所述環(huán)形開口硅波導(dǎo)的一端連接；

所述環(huán)形開口硅波導(dǎo)的另一端與所述輸出硅波導(dǎo)連接；

所述半導(dǎo)體出光芯片鍵合于所述連接硅波導(dǎo)上方；

所述半導(dǎo)體出光芯片發(fā)出的光通過所述連接硅波導(dǎo)進(jìn)入所述環(huán)形閉口硅波導(dǎo)及所述環(huán)形開口硅波導(dǎo)進(jìn)行諧振；

所述環(huán)形開口硅波導(dǎo)與所述輸出硅波導(dǎo)的連接處發(fā)生光反射，使得一部分光反射回連接硅波導(dǎo)進(jìn)行諧振，另一部分光反射向輸出光波導(dǎo)從而對外輸出。

2.如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述環(huán)形閉口硅波導(dǎo)在所述連接硅波導(dǎo)與所述環(huán)形閉口硅波導(dǎo)的連接處閉合。

3.如權(quán)利要求2所述的激光器，其特征在于，所述輸出硅波導(dǎo)包括，直形硅波導(dǎo)和半環(huán)形硅波導(dǎo)，

所述直形硅波導(dǎo)的一端連接所述環(huán)形開口硅波導(dǎo)的一端,另一端連接所述半環(huán)形硅波導(dǎo)。

4.如權(quán)利要求3所述的激光器，其特征在于，所述環(huán)形閉口硅波導(dǎo)為中心對稱的環(huán)形硅波導(dǎo)。

5.如權(quán)利要求3所述的激光器，其特征在于，所述連接硅波導(dǎo)與所述環(huán)形開口硅波導(dǎo)連接的一端為單模波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。

6.如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述半導(dǎo)體出光芯片與所述連接硅波導(dǎo)的鍵合方式為：直接與所述連接硅波導(dǎo)鍵合或通過鍵合層與所述連接硅波導(dǎo)鍵合。

7.如權(quán)利要求1至6任一所述的激光器，其特征在于，所述半導(dǎo)體出光芯片的形狀為寬度漸變的拉錐形或條形。

8.如權(quán)利要求1至6任一所述的激光器，其特征在于，所述連接硅波導(dǎo)的形狀為條形、彎曲形、拉錐形中的一種。

9.如權(quán)利要求6所述的激光器，其特征在于，所述半導(dǎo)體出光芯片鍵合于所述連接硅波導(dǎo)的正上方。

10.一種光模塊，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9任一所述的硅基激光器。