[發明專利]一種離子注入機束流均勻性調節裝置在審
| 申請號： | 201710486138.0 | 申請日： | 2017-06-23 |
| 公開（公告）號： | CN109119315A | 公開（公告）日： | 2019-01-01 |
| 發明（設計）人： | 何山 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鐵芯 均勻性調節 離子注入機 限位擋塊 電位計 多磁極 聯軸器 支撐桿 側板 磁級 滑塊 束流 絲杠 電機 半導體制造領域 離子注入裝置 電位計支架 導向作用 電機支架 調整墊片 限位作用 運動執行 固定板 運動會 驅動 | ||
【權利要求書】：
1.本發明公開了一種離子注入機束流均勻性調節裝置，該裝置主要包括：支撐桿(1),絲杠(2),多磁極側板(3),滑塊(4),鐵芯左(5),頂板(6),限位擋塊(7),固定板(8),鐵芯右(9)，電機(10)，電位計(11)，調整墊片(12)，電機支架(13)，聯軸器(14)，電位計支架(15)。
2.根據權利要求1的寬帶束離子注入機均勻性調節裝置，其特征是整個裝置分為兩部分，驅動部分和執行部分，每個部分組合才能稱為為完整的多磁級裝置。
3.根據權利要求1的離子注入機均勻性調節裝置，其特征是絲杠(2)帶動鐵芯左(5)或鐵芯右(9)運動，并通過滑塊(4)和限位擋塊(7)起導向和限位作用。
4.根據權利要求1的寬帶束離子注入機均勻性調節裝置，其特征是每一個鐵芯左(5)或鐵芯右(9)都能在電機的拖動下獨立運動，互不干涉。
5.根據權利要求1的寬帶束離子注入機均勻性調節裝置，其特征是鐵芯左(5)或鐵芯右(9)運動都能使支撐桿(1)帶動電位計(11)運動，從而采集到鐵芯的位置信息。
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