[發明專利]一種用于調整光學元件位姿的裝置及調整方法

在審

• 申請號: 201710484137.2
• 申請日: 2017-06-23
• 公開（公告）號: CN109116682A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發明（設計）人: 郭抗;陳華男;倪明陽;隋永新;楊懷江
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/00
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 趙勍毅

1.一種用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，包括：

支撐鏡框，用于支撐光學元件；

外鏡筒；

環帶，所述環帶的內側邊緣與所述支撐鏡框的外側邊緣相連，所述環帶的外側邊緣與所述外鏡筒的內側邊緣相連；

微位移傳感器，所述微位移傳感器設置在所述外鏡筒的內側壁上；

微位移驅動器，所述微位移驅動器設置在所述外鏡筒的內側壁上。

2.根據權利要求1所述的用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，還包括微位移傳感器連接座，所述微位移傳感器連接座設置在所述外鏡筒的內側壁上，用于安裝所述微位移傳感器；和微位移驅動器連接座，所述微位移驅動器連接座設置在所述外鏡筒的內側壁上，用于安裝所述微位移驅動器。

3.根據權利要求1所述的用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，包括：三個或三個以上微位移傳感器，三個或三個以上微位移驅動器，在圓周方向上，每個微位移傳感器布置在所述微位移驅動器的中間。

4.根據權利要求1所述的用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，所述裝置還包括環帶壓板，所述環帶壓板將所述環帶固定在所述外鏡筒上，所述環帶壓板將所述支撐鏡框安裝在所述環帶上。

5.根據權利要求1所述的用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，所述支撐鏡框通過其外側邊緣周向分布的支撐鏡框支臂連接在所述環帶上；所述外鏡筒通過其內側邊緣周向分布的外鏡筒支臂與所述環帶相連。

6.根據權利要求4所述的于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，所述支撐鏡框支臂和所述外鏡筒支臂的數量分別為三個或三個以上，在圓周方向上，所述外鏡筒支臂與所述支撐鏡框支臂互相交錯均布。

7.根據權利要求1所述的用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，所述環帶的內側邊緣與其外側邊緣同心；所述環帶的整體厚度均勻一致。

8.根據權利要求1所述的用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，所述微位移傳感器位于所述外鏡筒支臂的正下方，與所述支撐鏡框的下端面對應；所述微位移驅動器位于所述支撐鏡框支臂的正下方，作用在所述支撐鏡框的下端面上。

9.根據權利要求1所述的用于調整光學元件位姿的裝置，其特征在于，所述微位移傳感器采用電容式、渦流式、光柵式或光纖式測量方式；所述微位移驅動器采用壓電式、氣動式、音圈式或磁滯伸縮式驅動方式。

10.一種調整光學元件位姿的方法，其特征在于，利用權利要求1-9任意一項用于調整光學元件位姿的裝置來調整光學元件的位姿。