[發明專利]一種扭擺式叉指微機電磁場傳感器有效
| 申請號： | 201710483769.7 | 申請日： | 2017-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN107356889B | 公開（公告）日： | 2019-08-20 |
| 發明（設計）人： | 陳潔;惠肇宇 | 申請（專利權）人： | 東南大學 |
| 主分類號： | G01R33/06 | 分類號： | G01R33/06;G01R33/028 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210000 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 扭擺 式叉指 微機 電磁場 傳感器 | ||
1.一種扭擺式叉指微機電磁場傳感器，其特征在于，所述磁場傳感器包括襯底(1)、錨區組件(2)和硅摻雜層(3)，錨區(2)生長在襯底(1)上，硅摻雜層(3)與錨區組件(2)固定連接；錨區組件(2)包括第一錨區(4)、第二錨區(5)、第三錨區(6)、第四錨區(7)、第五錨區(8)、第六錨區(9)、第七錨區(10)和第八錨區(11)，
襯底(1)上部設有空腔；硅摻雜層(3)包括第一動態支撐梁(12)、第二動態支撐梁(13)、扭擺粱(16)、第一靜態支撐梁(17)、第二靜態支撐梁(18)；
第一動態支撐梁(12)兩端分別與第五錨區(8)和第七錨區(10)固定連接，第一動態支撐梁(12)處于懸空狀態；第二動態支撐梁(13)兩端分別與第六錨區(9)和第八錨區(11)固定連接，第二動態支撐梁(13)處于懸空狀態，
第一動態支撐梁(12)和第二動態支撐梁(13)平行布設；扭擺粱(16)的一端通過第一內支撐梁(14)與第一動態支撐梁(12)連接，扭擺粱(16)的另一端通過第二內支撐梁(15)與第二動態支撐梁(13)連接，扭擺梁(16)、第一內支撐梁(14)、第二內支撐梁(15)均處于懸空狀態；扭轉梁(16)相對兩側設有延伸的第一叉指結構和第二叉指結構；
第一靜態支撐梁(17)兩端分別與第一錨區(4)和第二錨區(5)連接，第一靜態支撐梁(17)處于懸空狀態；第二靜態支撐梁(18)兩端分別與第三錨區(6)和第四錨區(7)連接，第二靜態支撐梁(18)處于懸空狀態；
第一靜態支撐梁(17)上設有延伸的第三叉指結構；第二靜態支撐梁(18)上設有延伸的第四叉指結構；所述的第一叉指結構和第三叉指結構相適配，構成第一電容(19)；所述的第二叉指結構和第四叉指結構相適配，形成第二電容(20)。
2.按照權利要求1所述的扭擺式叉指微機電磁場傳感器，其特征在于，所述第一電容(19)的一側電極位于第一靜態支撐梁(17)的一條邊上，另一側位于扭擺梁(16)上；第二電容(20)的一側電極位于第二靜態支撐梁(18)的一條邊上，另一側位于扭擺梁(16)上。
3.按照權利要求2所述的扭擺式叉指微機電磁場傳感器，其特征在于，所述的第一電容(19)的一側電極和第二電容(20)的一側電極位于扭擺梁(16)的兩側，且對稱分布。
4.按照權利要求1所述的扭擺式叉指微機電磁場傳感器，其特征在于，所述第一電容(19)的一側電極位于第一靜態支撐梁(17)的一側，第二電容(20)的一側電極位于第二靜態支撐梁(18)的一側，且對稱分布。
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