[發明專利]正型感光性樹脂組成物及其應用

有效

• 申請號: 201710480604.4
• 申請日: 2017-06-22
• 公開（公告）號: CN107561863B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 黃偉杰;吳明儒;施俊安
• 申請（專利權）人: 奇美實業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/075
• 分類號: G03F7/075
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 姚亮

1.一種正型感光性樹脂組成物，其包含：

堿可溶性樹脂(A)；

鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)；

化合物(C)，其是選自由熱酸發生劑及熱堿發生劑所組成的群組；

環狀硅氧烷化合物(D)；及

溶劑(E)；

其中，所述環狀硅氧烷化合物(D)為如下所示結構的化合物：

。

2.根據權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物，其中，所述堿可溶性樹脂(A)是由不飽和羧酸或不飽和羧酸酐化合物(a1)、含環氧基的不飽和化合物(a2)及其他不飽和化合物(a3)所共聚合而得。

3.根據權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物，其中，基于所述堿可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的使用量為5至60重量份；所述化合物(C)的使用量為0.3至3重量份；所述環狀硅氧烷化合物(D)的使用量為3至30重量份；及所述溶劑(E)的使用量為100至1000重量份。

4. 根據權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物，所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)包含具有式(2)所示結構的鄰萘醌二疊氮磺酸酯化合物(B-1)：

式(2)

式(2)中：

R₁分別獨立地表示氫原子、經取代或未取代的烷基、芳香基或烯基；

R₂分別獨立地表示氫原子或具有醌二疊氮結構的官能基；a、b、d及e分別表示大于或等于0的整數，且f及g的總和為大于或等于1的整數；當a、b、d及e的總和大于1時，多個R₁分別為相同或不同；當f及所述g的總和大于1時，多個R₂中至少一個具有醌二疊氮結構的官能基。

5.根據權利要求4所述的正型感光性樹脂組成物，其中，基于所述堿可溶性樹脂(A)的使用量為100重量份，所述式(2)所示結構的鄰萘醌二疊氮磺酸酯化合物(B-1)的使用量為5至50重量份。

6.根據權利要求1所述的正型感光性樹脂組成物，其中，所述熱酸發生劑是選自由锍鹽、含鹵素化合物、重氮甲烷化合物、砜化合物、磺酸酯化合物、羧酸酯化合物、磷酸酯化合物、磺酰亞胺化合物、磺化苯并三唑類化合物及其組合所組成的群組。