[發(fā)明專(zhuān)利]銅/鉬膜或銅/鉬合金膜的蝕刻液組合物有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710479974.6 | 申請(qǐng)日： | 2014-01-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN107227463B | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-05-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 金世訓(xùn);李恩慶;李寶妍;申孝燮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 易安愛(ài)富科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23F1/44 | 分類(lèi)號(hào)： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡勝有 |
| 地址： | 韓國(guó)首爾市江南區(qū)奉恩*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 合金 蝕刻 組合 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
1.一種銅/鉬膜或銅/鉬合金膜的蝕刻液組合物，對(duì)于組合物的總重量，包含：
20至30％重量的過(guò)氧化氫，
0.1至1.0％重量的蝕刻抑制劑，
1至3％重量的螯合劑，
0.1至1％重量的蝕刻添加劑，
0.01至2％重量的氟化物，
0.1％重量至0.2％重量的蝕刻穩(wěn)定劑，和
余量的水且使全部組合物的總重量為100％重量；
其中所述蝕刻抑制劑是氨基四唑或甲基四唑；
所述螯合劑是亞氨基二乙酸；
所述蝕刻添加劑是硫酸鹽；
所述蝕刻穩(wěn)定劑是三乙醇胺；并且
所述氟化物是離解出HF2-離子的化合物。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的銅/鉬膜或銅/鉬合金膜的蝕刻液組合物，還包括玻璃蝕刻抑制劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的銅/鉬膜或銅/鉬合金膜的蝕刻液組合物，其中所述玻璃蝕刻抑制劑是含有硼的化合物。
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