[發明專利]聲波諧振器、濾波器和多工器

有效

• 申請號: 201710478055.7
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN107528564B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 巖城匡郁;松田隆志;堤潤
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H03H9/25
• 分類號: H03H9/25
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王小東

本發明涉及聲波諧振器、濾波器和多工器。該聲波諧振器包括：壓電基板；和形成在該壓電基板上的一對柵電極，所述一對柵電極中的一個柵電極包括電位彼此相等的多個第一電極指狀部，所述一對柵電極中的另一個柵電極包括電位彼此相等但與所述多個第一電極指狀部的電位不相等的多個第二電極指狀部，所述多個第二電極指狀部的兩個第二電極指狀部位于所述多個第一電極指狀部的至少一對相鄰第一電極指狀部之間，Pg不等于λ/4，其中λ表示由所述多個第一電極指狀部和所述多個第二電極指狀部激發的聲波的波長，并且Pg表示所述兩個第二電極指狀部的中心之間的距離。

技術領域

本發明的某一方面涉及聲波諧振器、濾波器和多工器。

背景技術

在以移動電話為典型的高頻通信系統中，已經使用高頻濾波器移除用于通信的頻帶中的信號以外的不必要信號。已經使用諸如表面聲波(SAW)諧振器的聲波諧振器用于高頻濾波器。在SAW諧振器中，金屬柵電極形成在諸如鉭酸鋰(LiTaO₃)基板或鈮酸鋰(LiNbO₃)基板之類的壓電基板上。

柵電極激發出剪切水平(SH)波、瑞利波或邊界聲波，這些波是表面聲波類型的。反射器位于由柵電極激發的聲波的傳播方向上的兩側以將聲波限制在柵電極的附近。可以用聲波諧振器制造梯形濾波器和多模濾波器。已知有如在例如日本專利申請公報No.9-270667和No.2008-78883(在下文中分別稱為專利文獻1和2)中公開的聲波諧振器，其中在柵電極中將垂直于聲波傳播方向的方向上的寬度加權。

在具有柵電極的聲波諧振器中，產生橫向模式雜散，這種雜散是不必要的響應。當在垂直于聲波傳播方向的方向上均具有分量的聲波在某一波長處彼此放大時產生橫向模式雜散。在專利文獻1和2中，由于重疊寬度在聲波的傳播方向上改變，因此產生橫向模式雜散的頻率在傳播方向上也改變。因而，橫向模式中的聲波彼此放大的頻率被平均化，由此減少橫向模式雜散。然而，這并不意味著抑制了在橫向模式中產生聲波。因此，橫向模式中的聲波泄漏到柵電極外部而導致損失。

發明內容

根據本發明的第一方面，提供了一種聲波諧振器，該聲波諧振器包括：壓電基板；和形成在該壓電基板上的一對柵電極，所述一對柵電極中的一個柵電極包括電位彼此相等的多個第一電極指狀部，所述一對柵電極中的另一個柵電極包括電位彼此相等但與所述多個第一電極指狀部的電位不相等的多個第二電極指狀部，所述多個第二電極指狀部的兩個第二電極指狀部位于所述多個第一電極指狀部的至少一對相鄰第一電極指狀部之間，Pg不等于λ/4，其中λ表示由所述多個第一電極指狀部和所述多個第二電極指狀部激發的聲波的波長，并且Pg表示所述兩個第二電極指狀部的中心之間的距離。

根據本發明的第二方面，提供了一種聲波諧振器，該聲波諧振器包括：壓電基板；形成在該壓電基板上的一對柵電極，所述一對柵電極包括在布置方向上布置的多個電極指狀部，所述多個電極指狀部激發聲波；和附加金屬膜，該附加金屬膜形成在所述壓電基板上且位于所述多個電極指狀部在所述布置方向上重疊的重疊區域中的所述多個電極指狀部之間，所述附加金屬膜沒有電連接至所述多個電極指狀部。

根據本發明的第三方面，提供了一種包括上述聲波諧振器的濾波器。

根據本發明的第四方面，提供了一種包括上述濾波器的多工器。

附圖說明

圖1A是根據比較示例和實施方式的聲波諧振器的平面圖，而圖1B是沿著圖1A的線A-A截取的剖視圖；

圖2A是在X方向和Y方向上的波數的平面圖，而圖2B是β_y/β₀對β_x/β₀的曲線圖；

圖3A和圖3B是分別示出了根據第一和第二比較示例的聲波諧振器的每個IDT的一部分的平面圖；

圖4A是第一比較示例的剖視圖，而圖4B是示出了單端口諧振器的反射特性S11的史密斯圖；