[發明專利]劃刻裝置以及保持架單元有效
| 申請號: | 201710477963.4 | 申請日: | 2017-06-21 |
| 公開(公告)號: | CN107520973B | 公開(公告)日: | 2021-01-22 |
| 發明(設計)人: | 地主貴裕;中垣智貴;阪口良太 | 申請(專利權)人: | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號: | B28D1/22 | 分類號: | B28D1/22;B28D7/04;B28D7/00;B28D5/00;C03B33/027 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 祝博 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝置 以及 保持 單元 | ||
1.一種劃刻裝置,其在基板表面形成劃刻線,
所述劃刻裝置的特征在于,
所述劃刻裝置具備:
保持架單元,其保持劃刻輪;以及
劃刻頭,其將所述保持架單元保持為能夠繞與所述基板表面垂直的軸進行旋轉,
所述保持架單元具備:
保持槽,其供所述劃刻輪插入;
銷孔,其以跨越所述保持槽的方式形成;以及
銷軸,其向被插入到所述保持槽中的所述劃刻輪的貫通孔和所述銷孔插入,
將所述貫通孔與所述銷軸之間的游隙、所述保持槽的內側面與所述劃刻輪的側面之間的游隙、以及所述銷軸相對于所述保持槽的內側面的傾斜角設定為,在將所述劃刻輪按壓于所述基板表面時,將所述劃刻輪的兩側面分別按壓于所述保持槽的相互對置的內側面,
所述銷孔形成為,相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向,至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜,
插入到所述銷孔以及所述貫通孔中的所述銷軸相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向,至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜。
2.根據權利要求1所述的劃刻裝置,其特征在于,
在與所述基板表面平行的方向上的所述銷軸相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向的傾斜角設定為2°以下。
3.根據權利要求1或2所述的劃刻裝置,其特征在于,
所述銷孔形成為,相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向,在與所述基板表面垂直的方向上也傾斜,
插入到所述銷孔以及所述貫通孔中的所述銷軸相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向,在與所述基板表面垂直的方向上也傾斜。
4.根據權利要求3所述的劃刻裝置,其特征在于,
在與所述基板表面垂直的方向上的所述銷軸相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向的傾斜角設定為1.5度以下。
5.一種保持架單元,其對用于形成劃刻線的劃刻輪進行保持,
所述保持架單元的特征在于,
所述保持架單元具備:
保持槽,其供所述劃刻輪插入;
銷孔,其以跨越所述保持槽的方式形成;以及
銷軸,其向被插入到所述保持槽中的所述劃刻輪的貫通孔和所述銷孔插入,
將所述貫通孔與所述銷軸之間的游隙、所述保持槽的內側面與所述劃刻輪的側面之間的游隙、以及所述銷軸相對于所述保持槽的內側面的傾斜角設定為,在將所述劃刻輪按壓于基板表面時,將所述劃刻輪的兩側面分別按壓于所述保持槽的相互對置的內側面,
所述銷孔形成為,相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向,至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜,
插入到所述銷孔以及所述貫通孔中的所述銷軸相對于與所述保持槽的內側面垂直的方向,至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜。
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