[發(fā)明專利]劃刻裝置以及保持架單元

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710477963.4
• 申請(qǐng)日: 2017-06-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107520973B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 地主貴裕;中垣智貴;阪口良太
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B28D1/22
• 分類號(hào): B28D1/22;B28D7/04;B28D7/00;B28D5/00;C03B33/027
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 祝博

1.一種劃刻裝置，其在基板表面形成劃刻線，

所述劃刻裝置的特征在于，

所述劃刻裝置具備：

保持架單元，其保持劃刻輪；以及

劃刻頭，其將所述保持架單元保持為能夠繞與所述基板表面垂直的軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，

所述保持架單元具備：

保持槽，其供所述劃刻輪插入；

銷孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及

銷軸，其向被插入到所述保持槽中的所述劃刻輪的貫通孔和所述銷孔插入，

將所述貫通孔與所述銷軸之間的游隙、所述保持槽的內(nèi)側(cè)面與所述劃刻輪的側(cè)面之間的游隙、以及所述銷軸相對(duì)于所述保持槽的內(nèi)側(cè)面的傾斜角設(shè)定為，在將所述劃刻輪按壓于所述基板表面時(shí)，將所述劃刻輪的兩側(cè)面分別按壓于所述保持槽的相互對(duì)置的內(nèi)側(cè)面，

所述銷孔形成為，相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向，至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜，

插入到所述銷孔以及所述貫通孔中的所述銷軸相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向，至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的劃刻裝置，其特征在于，

在與所述基板表面平行的方向上的所述銷軸相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向的傾斜角設(shè)定為2°以下。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的劃刻裝置，其特征在于，

所述銷孔形成為，相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向，在與所述基板表面垂直的方向上也傾斜，

插入到所述銷孔以及所述貫通孔中的所述銷軸相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向，在與所述基板表面垂直的方向上也傾斜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的劃刻裝置，其特征在于，

在與所述基板表面垂直的方向上的所述銷軸相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向的傾斜角設(shè)定為1.5度以下。

5.一種保持架單元，其對(duì)用于形成劃刻線的劃刻輪進(jìn)行保持，

所述保持架單元的特征在于，

所述保持架單元具備：

保持槽，其供所述劃刻輪插入；

銷孔，其以跨越所述保持槽的方式形成；以及

銷軸，其向被插入到所述保持槽中的所述劃刻輪的貫通孔和所述銷孔插入，

將所述貫通孔與所述銷軸之間的游隙、所述保持槽的內(nèi)側(cè)面與所述劃刻輪的側(cè)面之間的游隙、以及所述銷軸相對(duì)于所述保持槽的內(nèi)側(cè)面的傾斜角設(shè)定為，在將所述劃刻輪按壓于基板表面時(shí)，將所述劃刻輪的兩側(cè)面分別按壓于所述保持槽的相互對(duì)置的內(nèi)側(cè)面，

所述銷孔形成為，相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向，至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜，

插入到所述銷孔以及所述貫通孔中的所述銷軸相對(duì)于與所述保持槽的內(nèi)側(cè)面垂直的方向，至少在與所述基板表面平行的方向上傾斜。