[發明專利]等離子體處理裝置

有效

• 申請號: 201710474908.X
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN107527784B
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發明（設計）人: 里吉務;齊藤均
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/3065
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種等離子體處理裝置，其利用等離子化了的處理氣體對進行了真空排氣的處理容器內的矩形的被處理基板實施等離子體處理，所述等離子體處理裝置的特征在于，包括：

陰極電極，其在與該處理容器絕緣的狀態下配置于所述處理容器內，經由匹配電路與高頻電源連接，并且用于載置矩形的被處理基板；和

陽極電極部，其在與所述處理容器絕緣的狀態下與所述陰極電極相對地配置，具有與所述被處理基板對應的矩形的平面形狀，

所述陽極電極部，其在令從該陽極電極部的中央側向外周側去的方向為徑向時，在所述徑向上被分割成多個徑向分割電極，這些徑向分割電極分別在彼此絕緣的狀態下與接地端連接，

所述多個徑向分割電極中位于外周側的徑向分割電極設置于方環狀的區域中，且在所述方環狀的區域中在周向上被分割成位于所述陽極電極部的角部側的多個角部分割電極和位于邊部側的多個邊部分割電極，這些角部分割電極和邊部分割電極分別在彼此絕緣的狀態下與接地端連接，

在所述角部分割電極和邊部分割電極中的至少一者的接地端側設置有阻抗調整部，該阻抗調整部用于對從所述陰極電極經由等離子體至各角部分割電極或邊部分割電極的接地端的電路的阻抗進行調整。

2.如權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

被分割成所述角部分割電極和邊部分割電極的徑向分割電極是所述多個徑向分割電極中位于最外周側的電極。

3.如權利要求1或2所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

設置于所述角部分割電極和邊部分割電極的至少一者的阻抗調整部被所述多個角部分割電極共用或被所述多個邊部分割電極共用。

4.如權利要求1或2所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

在被分割成所述角部分割電極和邊部分割電極的徑向分割電極以外的徑向分割電極的至少一個設置有阻抗調整部，該阻抗調整部用于對從所述陰極電極經由等離子體至各徑向分割電極的接地端的電路的阻抗進行調整。

5.如權利要求1或2所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

所述陰極電極與頻率彼此不同的多個高頻電源連接，在設置有所述阻抗調整部的分割電極的接地端側并聯設置有與所述多個高頻電源的各自頻率對應的多個阻抗調整部。

6.如權利要求1或2所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

所述阻抗調整部能夠改變阻抗值。