[發明專利]襯底研磨裝置

有效

• 申請號: 201710473797.0
• 申請日: 2017-06-21
• 公開（公告）號: CN107538337B
• 公開（公告）日: 2021-11-02
• 發明（設計）人: 鄭花奎;尹錫烈;李康彬;李鳳雨;張根浩;張升勳;鄭盛旭;鄭煥暻
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/11;B24B37/34
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

公開了襯底研磨裝置，根據本發明的襯底研磨裝置包括本體部件、連接部件、研磨柱部件和研磨環部件，其中，所述本體部件包括支承部和從所述支承部的中央區域突出的突出部，所述連接部件包括與所述突出部結合的結合部和從所述結合部的一部分突出的結合軸，所述研磨柱部件限定有供所述結合軸插入的結合槽，其中所述研磨柱部件的至少一部分在與所述結合軸的長度方向平行的截面上包括曲線，并且所述研磨環部件與所述支承部的邊緣區域結合。

技術領域

本發明涉及研磨裝置，更詳細地，涉及襯底研磨裝置。

背景技術

在顯示裝置中，平板顯示裝置(Flat Panel Display)作為具有平坦且薄的形狀的薄型顯示裝置，其包括液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display)、有機發光顯示裝置(Organic Light Emitting Diode Display)等。平板顯示裝置包括顯示圖像的顯示面板。通常，顯示面板是在通過將布置有顯示圖像所需的器件的下部襯底和上部襯底粘合而形成母面板之后將母面板切割成期望的單元大小而形成的。此時，母面板的切割工藝由利用切割輪(cutting wheel)形成切斷槽的工藝和利用破碎機(breaker)等擊打切斷槽的工藝構成。顯示面板可通過這種切割工藝被劃分成期望的大小。

此外，近年來，在具有多種設計的顯示裝置中，開發出了角落呈曲面形狀的顯示裝置。作為一示例，使角落呈曲面形狀的襯底切割工藝可使用研磨石來進行。

發明內容

本發明的目的在于提供能夠將襯底的角落研磨成曲面形狀的襯底研磨裝置。

為了實現上述目的的、根據本發明實施方式的襯底研磨裝置包括本體部件、連接部件、研磨柱部件和研磨環部件，其中，所述本體部件包括支承部和從所述支承部的中央區域突出的突出部，所述連接部件包括與所述突出部結合的結合部和從所述結合部的一部分突出的結合軸，所述研磨柱部件限定有供所述結合軸插入的結合槽，并且所述研磨柱部件的至少一部分在與所述結合軸的長度方向平行的截面上包括曲線，并且所述研磨環部件與所述支承部的邊緣區域結合。

根據本發明實施方式，所述研磨柱部件包括布置在所述結合部的上部處的第一研磨柱部和與所述第一研磨柱部的上部連接的第二研磨柱部，并且所述結合槽沿著所述第一研磨柱部和所述第二研磨柱部的中心軸線限定。

根據本發明實施方式，其特征在于，所述第二研磨柱部包括連接至所述第一研磨柱部的底表面、與所述底表面相對的上表面、連接所述底表面與所述上表面的外側表面和內側表面，并且所述第二研磨柱部的外側線在與所述底表面垂直的截面上具有曲線形狀。

根據本發明實施方式，其特征在于，所述底表面具有盤形狀，并且所述上表面具有環形狀。

根據本發明實施方式，其特征在于，所述底表面的面積在水平面上比所述上表面的面積大。

根據本發明實施方式，其特征在于，在與所述底表面垂直的截面上，所述第二研磨柱部的上側線的長度與所述結合槽的長度之和為6毫米(mm)以上。

根據本發明實施方式，其特征在于，在與所述底表面垂直的截面上，所述上側線的長度比所述結合槽的長度短。

根據本發明實施方式，其特征在于，在與所述底表面垂直的截面上，所述第二研磨柱部的下側線的長度和所述結合槽的長度之和為26毫米(mm)以上。

根據本發明實施方式，其特征在于，在與所述底表面垂直的截面上，所述第一研磨柱部的外側線具有直線形狀。

根據本發明實施方式，其特征在于，所述第一研磨柱部和所述第二研磨柱部為一體型。

根據本發明實施方式，其特征在于，所述第一研磨柱部具有圓柱形形狀。