[發明專利]一種銅微合金鍵合線及其制備方法在審
| 申請號: | 201710473008.3 | 申請日: | 2017-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN107195608A | 公開(公告)日: | 2017-09-22 |
| 發明(設計)人: | 李軍;田鵬 | 申請(專利權)人: | 滕州晨暉電子集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/49 | 分類號: | H01L23/49;H01L21/48;C22C9/00;C22C1/02;C22F1/08 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 277500 山東省*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 合金 鍵合線 及其 制備 方法 | ||
1.一種銅微合金鍵合線,其特征在于,包括銀、稀土元素和高純銅,所述銀和稀土元素的重量之和占總重量的0.1%,其余均為高純銅。
2.根據權利要求1所述的銅微合金鍵合線,其特征在于,所述高純銅的純度不低于99.9999%,銀和稀土元素的純度均不低于99.999%。
3.一種如權利要求1-2任一所述的銅微合金鍵合線的制備方法,其特征在于,具體步驟如下:
步驟一,稱取原料:稱取純度99.9999%以上的高純銅、純度99.999%以上的高純銀和純度99.999%以上的稀土元素;
步驟二,制備合金:將部分高純銅和稀土元素制成合金;
步驟三,熔鑄:采用真空熔煉和連續定向拉鑄工藝,將剩余高純銅、合金以及高純銀熔鑄成6mm合金棒;
步驟四,拉絲:采用單模和多模拉絲工藝,使用帶連續退火的拉絲設備,將6mm合金棒拉制成我們需要的成品直徑;
步驟五,退火:根據技術要求,對線材進行退火處理,利用合理的退火溫度和時間,得到我們需要的機械性能;
步驟六,復繞:根據客戶要求,將線材復繞成一定長度一軸的成品線。
4.根據權利要求3所述的銅微合金鍵合線的制備方法,其特征在于,所述步驟二中制備合金采用真空度不大于1*10-3pa的中頻真空熔煉爐,在1200-1600℃下精煉20-30分鐘。
5.根據權利要求3或4所述的銅微合金鍵合線的制備方法,其特征在于,所述步驟三中熔鑄采用真空度不大于1*10-3pa的中頻真空熔煉爐,在1200-1300℃下精煉20-30分鐘。
6.根據權利要求3所述的銅微合金鍵合線的制備方法,其特征在于,所述步驟五中退火溫度為350-450℃并且采用氮氣保護。
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