[發(fā)明專利]噴嘴清掃構件、噴嘴清掃裝置、涂布裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710472474.X
• 申請日: 2017-06-20
• 公開（公告）號: CN108296086B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發(fā)明（設計）人: 芳川典生;時枝大佐
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: B05B15/50
• 分類號: B05B15/50
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

本發(fā)明提供一種噴嘴清掃構件、噴嘴清掃裝置及涂布裝置，一方面可以利用噴嘴清掃構件來執(zhí)行適合于從噴嘴穩(wěn)定地噴出涂布液的清掃，一方面可以抑制伴隨著噴嘴清掃構件的更換而產(chǎn)生的運營成本。本發(fā)明的噴嘴清掃構件通過相對于從設置于前端的噴出口噴出涂布液的噴嘴相對地移動，而刮除附著于噴嘴上的涂布液，所述噴嘴清掃構件包括：樹脂制的對向部，在噴嘴的兩側面相對向；以及橡膠制的抵接部，設置于噴嘴的兩側面的各自的前端之間，抵接于噴出口形成開口的噴嘴的前端面。

技術領域

本發(fā)明涉及一種對液晶顯示裝置用玻璃基板、半導體圓片(wafer)、等離子體顯示面板(plasma display panel，簡稱：PDP)用玻璃基板、光掩膜用玻璃基板、聚酰亞胺前體薄膜的支撐用的玻璃基板、彩色濾光片用基板、記錄磁盤用基板、太陽能電池用基板、電子紙用基板等精密電子裝置用基板(以下簡稱為“基板”)從噴嘴的噴出口噴出涂布液而進行涂布的涂布裝置、去除附著于所述噴嘴的噴出口的涂布液的噴嘴清掃構件以及利用噴嘴清掃構件清掃噴嘴的噴嘴清掃裝置。

背景技術

先前，已知有利用從設置于前端的噴出口噴出涂布液的狹縫噴嘴，將涂布液涂布于基板上的涂布裝置。并且，在專利文獻1的涂布裝置中，設置有去除附著于狹縫噴嘴上的涂布液的擦拭單元。所述擦拭單元是使用具有與狹縫噴嘴的前端部的形狀相對應的V字狀的槽的清掃構件來清掃狹縫噴嘴。更具體而言，一邊使狹縫噴嘴的前端部抵接于清掃構件的V字槽，一邊使清掃構件沿狹縫噴嘴移動。通過這樣使清掃構件滑動至狹縫噴嘴，可以刮除附著于狹縫噴嘴上的涂布液。

[現(xiàn)有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2012-200614號公報

發(fā)明內容

發(fā)明所要解決的問題

如上所述從狹縫噴嘴去除涂布液是為了從狹縫噴嘴的噴出口穩(wěn)定地噴出涂布液而執(zhí)行。特別是當涂布液多余地附著于噴出口開口的狹縫噴嘴的前端面時，容易對從噴出口的涂布液的噴出產(chǎn)生影響。因此，為了穩(wěn)定地噴出涂布液，重要的是使清掃構件牢固地裝配于狹縫噴嘴的前端面。但是，當使清掃構件牢固地裝配于噴嘴時清掃構件的磨損會加劇，從而有可能產(chǎn)生頻繁地更換清掃構件的需要。即，當為了穩(wěn)定地噴出涂布液而想要確實地去除涂布液時，會產(chǎn)生頻繁地出現(xiàn)清掃構件的更換而使運營成本增大之類的問題。

本發(fā)明是鑒于所述問題而完成的，目的在于一方面能夠利用噴嘴清掃構件執(zhí)行適合于從噴嘴穩(wěn)定地噴出涂布液的清掃，一方面能夠抑制伴隨著噴嘴清掃構件的更換而產(chǎn)生的運營成本。

解決問題的手段

本發(fā)明的噴嘴清掃構件是通過相對于噴嘴相對地移動而刮除附著于噴嘴上的涂布液，所述噴嘴從設置于前端的噴出口噴出涂布液，噴嘴清掃構件包括：樹脂制的對向部，在噴嘴的兩側面相對向；以及橡膠制的抵接部，設置于噴嘴的兩側面的各自的前端之間，抵接于噴出口形成開口的噴嘴的前端面。

本發(fā)明的噴嘴清掃裝置去除附著于噴嘴上的涂布液，所述噴嘴從設置于前端的噴出口噴出涂布液，所述噴嘴清掃裝置包括：所述噴嘴清掃構件；支撐部，對噴嘴清掃構件進行支撐；以及驅動部，通過對支撐部進行驅動，而使噴嘴清掃構件相對于噴嘴移動。

本發(fā)明的涂布裝置包括：噴嘴，從設置于前端的噴出口噴出涂布液；以及所述噴嘴清掃裝置。

如上所述構成的本發(fā)明(噴嘴清掃構件、噴嘴清掃裝置、涂布裝置)的清掃對象即噴嘴包括：兩側面；以及前端面，設置于所述兩側面各自的前端之間，并且噴出口開口。與此相對，噴嘴清掃構件包括在噴嘴的兩側面相對向的對向部、以及抵接于噴嘴的前端面的抵接部。因此，通過使噴嘴清掃構件相對于噴嘴滑動，可以利用噴嘴清掃構件的對向部刮除附著于噴嘴的兩側面的涂布液，并且利用噴嘴清掃構件的抵接部刮除附著于噴嘴的前端面的涂布液。