[發(fā)明專利]金屬陶瓷襯底及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710470918.6
• 申請(qǐng)日: 2017-06-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107540384B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·羅特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L23/15
• 分類號(hào): H01L23/15;C04B35/622;C04B41/88
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 鄭立柱

1.一種用于制造金屬陶瓷襯底的方法，所述金屬陶瓷襯底具有陶瓷板或陶瓷層和兩個(gè)金屬層，所述兩個(gè)金屬層平面地固定在所述陶瓷層的兩個(gè)相對(duì)表面?zhèn)龋龇椒ㄖ辽侔ㄒ韵虏襟E：

–在燒結(jié)輔助件上提供陶瓷懸浮液，

–將所述陶瓷懸浮液加熱到燒結(jié)溫度，以獲得陶瓷層，

–冷卻所述陶瓷層，

–以第一金屬層涂覆所述陶瓷層的第一表面?zhèn)群?或以第二金屬層涂覆所述陶瓷層的與所述第一表面?zhèn)葘?duì)置的第二表面?zhèn)龋?/p>

–將在上述步驟中形成的由所述陶瓷層和所述金屬層構(gòu)成的組件加熱到鍵合溫度，以通過(guò)鍵合形成在所述陶瓷層和所述金屬層之間的復(fù)合結(jié)構(gòu)，

–冷卻由所述陶瓷層和所述金屬層構(gòu)成的組件，

–如果在以上步驟中所述陶瓷層的僅一個(gè)表面?zhèn)扰c金屬層鍵合，則重復(fù)上述三個(gè)步驟，直至所述陶瓷層的兩個(gè)表面?zhèn)确謩e與金屬層鍵合，

其特征在于，

所述陶瓷層與有不同屈服強(qiáng)度的金屬層鍵合，其中所述不同屈服強(qiáng)度借助于兩個(gè)金屬層中不同的粒度被預(yù)先確定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述陶瓷層首先僅以一個(gè)金屬層被涂覆、加熱和冷卻，其中由所述陶瓷層和所述金屬層構(gòu)成的組件在所述冷卻后冷變形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，由所述陶瓷層和所述金屬層構(gòu)成的組件在位于下方的拱曲的鍵合輔助件上被加熱和鍵合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，將所述陶瓷懸浮液在拱曲的燒結(jié)輔助件上加熱并且燒結(jié)。

5.一種金屬陶瓷襯底，具有陶瓷板或陶瓷層和兩個(gè)金屬層，所述兩個(gè)金屬層平面地固定在所述陶瓷層的兩個(gè)相對(duì)表面?zhèn)龋?/p>

其特征在于，

所述金屬陶瓷襯底根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的方法被制造。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金屬陶瓷襯底，其特征在于，兩個(gè)金屬層由相同的金屬構(gòu)成。