[發明專利]一種攝像鏡頭表面防結霧處理方法

有效

• 申請號: 201710468342.X
• 申請日: 2017-06-20
• 公開（公告）號: CN107037510B
• 公開（公告）日: 2018-02-27
• 發明（設計）人: 劉子軒
• 申請（專利權）人: 劉子軒
• 主分類號: G02B1/18
• 分類號: G02B1/18
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司51214
• 代理人: 房云

1.一種攝像鏡頭表面防結霧處理方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、對攝像鏡頭的表面進行處理，然后通過離子濺射法在攝像鏡頭的表面沉積一層Au薄膜，得到含Au薄膜襯底的攝像鏡頭；

步驟2、將金屬氧化物粉末和氧化銦粉末按質量比為30：1的比例采用液相超聲混合的方法混合均勻，然后將混合均勻的混合物真空烘干后得到蒸發源，其中，金屬氧化物粉末的粒度為320目；

步驟3、將步驟2制得的蒸發源和步驟1制得的含Au薄膜襯底的攝像鏡頭放入可控氣氛管式爐中，襯底距離蒸發源10-15cm，其中，整個系統預抽真空至1-2Pa，然后通入氬氣并保持氬氣流量為150 sccm，維持反應室內的壓強在120Pa，然后升溫后再冷卻降溫，最后取出攝像鏡頭即可。

2.如權利要求1所述的攝像鏡頭表面防結霧處理方法，其特征在于，Au薄膜的厚度為5-10nm，氧化銦粉末的純度達到98%以上。

3.如權利要求1所述的攝像鏡頭表面防結霧處理方法，其特征在于，蒸發源處的溫度設為1050-1100℃，升溫速率控制為10-12℃/min。

4.如權利要求1所述的攝像鏡頭表面防結霧處理方法，其特征在于，金屬氧化物選自氧化鋯、氧化鋅、二氧化鈦、氧化鎵、氧化錫其中的一種，且金屬氧化物的純度達到99.0%以上。

5.如權利要求1所述的攝像鏡頭表面防結霧處理方法，其特征在于，金屬氧化物為氧化鋯。

6.一種防結霧攝像鏡頭，采用了權利要求3所述的攝像鏡頭表面防結霧處理方法，其特征在于，在攝像鏡頭的表面依次設有Au薄膜和金屬氧化物納米線層，其中，Au薄膜通過離子濺射法形成，其厚度為5-10nm，金屬氧化物納米線層通過熱蒸發物理氣相沉積法形成。

7.如權利要求6所述的防結霧攝像鏡頭，其特征在于，金屬氧化物納米線層的制造方法包括以下步驟：

步驟1、對攝像鏡頭的表面進行處理，然后通過離子濺射法在攝像鏡頭的表面沉積一層為5-10nm厚的Au薄膜，得到含Au薄膜襯底的攝像鏡頭；

步驟2、將金屬氧化物粉末和氧化銦粉末按質量比為30：1的比例采用液相超聲混合的方法混合均勻，然后將混合均勻的混合物真空烘干后得到蒸發源，其中，金屬氧化物粉末的粒度為320目，純度達到99.0%以上，氧化銦粉末的粒度為300目，純度達到98%以上；

步驟3、將步驟2制得的蒸發源和步驟1制得的含Au薄膜襯底的攝像鏡頭放入可控氣氛管式爐中，襯底距離蒸發源10-15cm，其中，整個系統預抽真空至1-2Pa，然后通入氬氣并保持氬氣流量為150 sccm，維持反應室內的壓強在120Pa，然后升溫后再冷卻降溫，蒸發源所處的溫度設為1050-1100℃，升溫速率控制為10-12℃/min，最后取出攝像鏡頭即可。

8.如權利要求6所述的防結霧攝像鏡頭，其特征在于，金屬氧化物選自氧化鋯、氧化鋅、二氧化鈦、氧化鎵、氧化錫其中的一種。