[發(fā)明專利]一種噴墨涂膠方法及設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710465848.5
• 申請(qǐng)日: 2017-06-19
• 公開（公告）號(hào): CN107344151A
• 公開（公告）日: 2017-11-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡豐豪;吳建霖;盧連杰;金東煥;金映秀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B05B12/04
• 分類號(hào): B05B12/04;B05B15/04;B05B13/02
• 代理公司: 北京聿宏知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11372
• 代理人: 吳大建,何嬌

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶顯示設(shè)備制造領(lǐng)域，并且更具體地，涉及一種噴墨涂膠方法及設(shè)備。

背景技術(shù)

在電子行業(yè)加工生產(chǎn)中經(jīng)常需要使用到涂膠的制成方式。涂膠制程使用在半導(dǎo)體、顯示器、觸摸屏等電子產(chǎn)品的制造中，目前的涂膠方式比較多，傳統(tǒng)的涂膠工藝有輥式涂膠(roller coating)、狹縫式涂膠(slit coating)、旋轉(zhuǎn)涂膠(spin coating)以及凸版印刷等，但是這些涂膠工藝都不能直接做圖案，在材料的使用率上受到限制。隨著電子行業(yè)逐漸往節(jié)約成本地方向發(fā)展，有一些廠商開始使用噴墨涂膠(inkjet coating)的工藝作為涂膠制程，該制程方式有可以按需打印的特點(diǎn)，可以直接打印出大概圖形，該方式能夠節(jié)約材料成本。由于該涂膠方式依靠噴頭上的噴嘴進(jìn)行噴墨涂膠，若噴嘴選用間隙較大，噴墨液滴的間隙也會(huì)較大，導(dǎo)致噴墨涂膠的膜厚會(huì)出現(xiàn)個(gè)別位置較薄的情況，直接影響到涂膠均勻性；若噴墨液滴的密度較低，則涂膠膜層的覆蓋能力較差，容易出現(xiàn)針孔(pin-hole)缺陷等不良缺陷。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N噴墨涂膠方法及設(shè)備，其能夠在不影響噴墨涂膠的涂膠液液滴位置精度的情況下，增大涂膠液液滴的分布密度，提高涂膠膜層的均一性及覆蓋能力。

一方面，提供了一種噴墨涂膠的方法，該方法包括：將基板放置于能夠移動(dòng)的移動(dòng)臺(tái)上；將噴頭在與所述基板平行的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)目標(biāo)角度，其中，所述噴頭包括至少一組噴嘴；根據(jù)所述目標(biāo)角度確定所述至少一組噴嘴中的每個(gè)噴嘴進(jìn)行噴墨涂膠的起始時(shí)間。通過本方面，能夠在不影響噴墨涂膠的涂膠液液滴位置精度的情況下，增大涂膠液液滴的分布密度(即減小液滴之間的間隙)，提高涂膠膜層的均一性及覆蓋能力。

在本方面一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，在所述將所述噴頭在與所述基板平行的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)目標(biāo)角度之前，所述方法還包括：確定第一間隙，其中，所述第一間隙為所述至少一組噴嘴中的每組噴嘴中的相鄰噴嘴噴射在所述基板上的涂膠液液滴之間的間隙；根據(jù)所述第一間隙和第二間隙確定所述目標(biāo)角度，所述第二間隙為所述噴頭中所述相鄰噴嘴之間的間隙。

在本方面一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述根據(jù)所述第一間隙和第二間隙確定所述目標(biāo)角度，包括根據(jù)以下公式確定所述目標(biāo)角度：其中，L₁為所述第一間隙，L₂為所述第二間隙，α為所述目標(biāo)角度，目標(biāo)角度為銳角。

在本方面一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述目標(biāo)角度的范圍為5～45°。通過該實(shí)現(xiàn)方式，能夠保證涂膠液液滴噴射到基板上以后之間的第一間隙能夠在一個(gè)合理的范圍內(nèi)，同時(shí)保證該方法的可操作性。

在本方面一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述至少一組噴嘴為兩組以上噴嘴時(shí)，所述至少一組噴嘴中的每組噴嘴平行等距離地排列。

在本方面一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述每個(gè)噴嘴噴射所述涂膠液液滴的周期相同。通過該實(shí)現(xiàn)方式，能夠保證所有的涂膠液液滴整齊排列地噴射在基板上。

在本方面一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，涂膠液為光刻膠。

另一方面，提供了一種噴墨涂膠的設(shè)備，包括移動(dòng)臺(tái)、噴頭和控制裝置，所述移動(dòng)臺(tái)用于放置基板且能夠移動(dòng)，所述噴頭設(shè)置于移動(dòng)臺(tái)上方并包括至少一組噴嘴，所述控制裝置用于控制所述噴頭在與基板平行的平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)目標(biāo)角度，并且用于控制至少一組噴嘴中的每個(gè)噴嘴進(jìn)行噴墨涂膠的起始時(shí)間。

在本方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述控制裝置還用于根據(jù)第一間隙和第二間隙確定所述目標(biāo)角度，其中，所述第一間隙為所述至少一組噴嘴中的每組噴嘴中的相鄰噴嘴噴射在基板上的涂膠液液滴之間的間隙，所述第二間隙為所述至少一組噴嘴中的每組噴嘴的所述相鄰噴嘴之間的間隙。

在本方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述控制裝置根據(jù)公式(1)確定所述目標(biāo)角度：其中，L₁為所述第一間隙，L₂為所述第二間隙，α為所述目標(biāo)角度，目標(biāo)角度為銳角。

在本方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述目標(biāo)角度的范圍為5～45°。

在本方面一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述至少一組噴嘴為兩組以上噴嘴時(shí)，所述至少一組噴嘴中的每組噴嘴平行等距離地排列。

在本方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述每個(gè)噴嘴噴射所述涂膠液液滴的周期相同。

在本方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)方式中，所述控制裝置包括處理器和可編程邏輯控制器。

上述技術(shù)特征可以各種適合的方式組合或由等效的技術(shù)特征來替代，只要能夠達(dá)到本發(fā)明的目的。

附圖說明